Penyalut sebaris vakum ialah jenis sistem salutan termaju yang direka untuk persekitaran pengeluaran berkeupayaan tinggi yang berterusan. Tidak seperti penyalut kelompok, yang memproses substrat dalam kumpulan diskret, penyalut sebaris membenarkan substrat bergerak secara berterusan melalui pelbagai peringkat proses penyalut. Berikut ialah pandangan terperinci tentang cara penyalut sebaris vakum berfungsi dan aplikasinya:
Komponen dan Proses Utama
Stesen Muat/Punggah: Substrat dimuatkan ke dalam sistem pada permulaan dan dipunggah pada penghujung. Ini boleh diautomasikan untuk meningkatkan daya pengeluaran.
Sistem Pengangkutan: Penghantar atau mekanisme yang serupa menggerakkan substrat melalui pelbagai peringkat proses salutan.
Ruang Vakum: Pelapis terdiri daripada beberapa ruang vakum yang disambungkan, setiap satu dikhususkan untuk bahagian tertentu proses salutan. Bilik-bilik ini disimpan di bawah vakum tinggi untuk memastikan pemendapan bersih dan terkawal.
Stesen Pra-rawatan: Substrat boleh melalui stesen pembersihan atau goresan untuk membuang bahan cemar dan menyediakan permukaan untuk salutan.
Stesen Sputtering atau Sejatan: Stesen ini adalah tempat salutan sebenar berlaku. Sasaran sputtering atau sumber penyejatan digunakan untuk mendepositkan bahan yang dikehendaki ke substrat.
Stesen Penyejukan: Selepas salutan, substrat mungkin perlu disejukkan untuk memastikan kestabilan dan lekatan filem nipis.
Pemeriksaan dan Kawalan Kualiti: Sistem bersepadu untuk pemantauan dan pemeriksaan masa nyata memastikan salutan memenuhi spesifikasi yang diperlukan.
Kelebihan
Kapasiti Tinggi: Pemprosesan berterusan membolehkan salutan pantas bagi kuantiti substrat yang banyak.
Salutan Seragam: Kawalan tepat ke atas proses pemendapan menghasilkan filem nipis yang seragam dan berkualiti tinggi.
Kebolehskalaan: Sesuai untuk pengeluaran berskala besar, menjadikannya sesuai untuk aplikasi industri.
Kepelbagaian: Boleh digunakan untuk menyimpan pelbagai jenis bahan, termasuk logam, oksida dan nitrida.
Aplikasi
Pembuatan Semikonduktor: Digunakan untuk mendepositkan pelbagai lapisan dalam penghasilan litar bersepadu.
Sel Photovoltaic: Salutan bahan untuk panel solar untuk meningkatkan kecekapannya.
Salutan Optik: Pengeluaran salutan anti-reflektif, cermin dan kanta.
Pembungkusan: Menggunakan salutan penghalang pada bahan pembungkusan yang fleksibel.
Teknologi Paparan: Salutan substrat yang digunakan dalam LCD, OLED dan jenis paparan lain.
Pelapis sebaris vakum adalah penting untuk industri yang memerlukan filem nipis berkualiti tinggi dengan sifat yang konsisten, dan ia memainkan peranan penting dalam proses pembuatan moden.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Jul-12-2024