Вакуум доторлогоотой бүрээс нь тасралтгүй, өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлийн орчинд зориулагдсан дэвшилтэт төрлийн бүрэх систем юм. Субстратыг салангид бүлгүүдэд боловсруулдаг багц бүрээсүүдээс ялгаатай нь доторлогоотой бүрээс нь бүрэх процессын янз бүрийн үе шатанд субстратыг тасралтгүй шилжүүлэх боломжийг олгодог. Вакуум доторлогооны бүрээс хэрхэн ажилладаг ба түүний хэрэглээний талаар дэлгэрэнгүй харна уу.
Гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд ба үйл явц
Ачаалах/Буулгах станцууд: Субстратыг системд эхэнд нь ачиж, төгсгөлд нь буулгана. Үүнийг автоматжуулах замаар дамжуулалтыг нэмэгдүүлэх боломжтой.
Тээврийн систем: Туузан дамжуулагч эсвэл ижил төстэй механизм нь бүрэх процессын янз бүрийн үе шатанд субстратуудыг хөдөлгөдөг.
Вакуум камер: Бүрхүүл нь хэд хэдэн холбогдсон вакуум камеруудаас бүрдэх ба бүрэх үйл явцын тодорхой хэсэгт зориулагдсан. Цэвэр, хяналттай тунадасжилтыг хангахын тулд эдгээр танхимуудыг өндөр вакуум дор байлгадаг.
Урьдчилан цэвэрлэх станцууд: Бохирдуулагчийг арилгах, гадаргууг бүрэх ажилд бэлтгэхийн тулд субстрат нь цэвэрлэх эсвэл сийлбэрлэх станцуудаар дамжин өнгөрч болно.
Шүрших буюу ууршуулах станцууд: Эдгээр станцууд нь бодит бүрэх газар юм. Хүссэн материалыг субстрат дээр байрлуулахын тулд цацах зорилтууд эсвэл ууршилтын эх үүсвэрүүдийг ашигладаг.
Хөргөх станцууд: Бүрхүүлсний дараа нимгэн хальсны тогтвортой байдал, наалдацыг хангахын тулд субстратыг хөргөх шаардлагатай.
Хяналт шалгалт, чанарын хяналт: Бодит цагийн хяналт, шалгалтын нэгдсэн систем нь бүрээс нь шаардлагатай техникийн үзүүлэлтүүдийг хангаж байгаа эсэхийг баталгаажуулдаг.
Давуу тал
Өндөр бүтээмж: Тасралтгүй боловсруулалт нь их хэмжээний субстратыг хурдан бүрэх боломжийг олгодог.
Нэг төрлийн бүрээс: Тунах процессыг нарийн хянах нь жигд, өндөр чанартай нимгэн хальс үүсгэдэг.
Өргөтгөх чадвар: Том хэмжээний үйлдвэрлэлд тохиромжтой, энэ нь үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд тохиромжтой.
Олон талт байдал: Металл, исэл, нитрид гэх мэт өргөн хүрээний материалыг хуримтлуулахад ашиглаж болно.
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл: Нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлд янз бүрийн давхаргыг буулгахад ашигладаг.
Фотоволтайк эсүүд: Нарны хавтангийн үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд материалыг бүрэх.
Оптик бүрээс: Гэрэл цацруулагчийн эсрэг бүрээс, толь, линз үйлдвэрлэх.
Сав баглаа боодол: Уян сав баглаа боодлын материалд хаалт түрхэх.
Дэлгэцийн технологи: LCD, OLED болон бусад төрлийн дэлгэцэнд ашигладаг субстратын бүрээс.
Вакуум доторлогоотой бүрээс нь тогтвортой шинж чанартай, өндөр чанартай нимгэн хальс шаарддаг үйлдвэрүүдэд зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд орчин үеийн үйлдвэрлэлийн процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 12