Vakuuma pārklāšanas iekārta ir uzlabota pārklāšanas sistēma, kas paredzēta nepārtrauktas, augstas caurlaidspējas ražošanas vidēm. Atšķirībā no partiju pārklāšanas iekārtām, kas apstrādā substrātus atsevišķās grupās, iekšējās pārklāšanas iekārtas ļauj substrātiem nepārtraukti pārvietoties cauri dažādiem pārklāšanas procesa posmiem. Šeit ir sniegts detalizēts pārskats par to, kā darbojas vakuuma iekšējās pārklāšanas iekārta un tās pielietojums:
Galvenās sastāvdaļas un process
Iekraušanas/izkraušanas stacijas: Substrāti sistēmā tiek iekrauti sākumā un izkrauti beigās. To var automatizēt, lai palielinātu caurlaidspēju.
Transporta sistēma: Konveijers vai līdzīgs mehānisms pārvieto substrātus dažādos pārklāšanas procesa posmos.
Vakuuma kameras: Pārklāšanas iekārta sastāv no vairākām savienotām vakuuma kamerām, katra no kurām ir paredzēta konkrētai pārklāšanas procesa daļai. Šīs kameras tiek uzturētas augstā vakuumā, lai nodrošinātu tīru un kontrolētu nogulsnēšanos.
Priekšapstrādes stacijas: substrāti var iziet cauri tīrīšanas vai kodināšanas stacijām, lai noņemtu piesārņotājus un sagatavotu virsmu pārklāšanai.
Izsmidzināšanas vai iztvaikošanas stacijas: Šajās stacijās notiek faktiskā pārklāšana. Izsmidzināšanas mērķi vai iztvaikošanas avoti tiek izmantoti, lai uzklātu vēlamo materiālu uz substrātiem.
Dzesēšanas stacijas: Pēc pārklāšanas substrāti var būt jāatdzesē, lai nodrošinātu plānās plēves stabilitāti un saķeri.
Pārbaude un kvalitātes kontrole: Integrētas sistēmas reāllaika uzraudzībai un pārbaudei nodrošina, ka pārklājumi atbilst noteiktajām specifikācijām.
Priekšrocības
Augsta caurlaidspēja: Nepārtraukta apstrāde ļauj ātri pārklāt lielu daudzumu substrātu.
Vienmērīgi pārklājumi: precīza nogulsnēšanas procesa kontrole nodrošina vienmērīgas un augstas kvalitātes plānas plēves.
Mērogojamība: Piemērots liela mēroga ražošanai, padarot to ideāli piemērotu rūpnieciskiem lietojumiem.
Daudzpusība: Var izmantot plaša materiālu klāsta, tostarp metālu, oksīdu un nitrīdu, nogulsnēšanai.
Pieteikumi
Pusvadītāju ražošana: izmanto dažādu slāņu uzklāšanai integrēto shēmu ražošanā.
Fotoelektriskās šūnas: saules paneļu materiālu pārklājumi, lai uzlabotu to efektivitāti.
Optiskie pārklājumi: pretatstarojošu pārklājumu, spoguļu un lēcu ražošana.
Iepakojums: Barjerpārklājumu uzklāšana uz elastīgiem iepakojuma materiāliem.
Displeja tehnoloģija: LCD, OLED un cita veida displejos izmantoto substrātu pārklājums.
Vakuuma pārklāšanas iekārtas ir būtiskas nozarēm, kurām nepieciešamas augstas kvalitātes plānas plēves ar nemainīgām īpašībām, un tām ir izšķiroša nozīme mūsdienu ražošanas procesos.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 12. jūlijs