Apskritai CVD galima grubiai suskirstyti į du tipus: vienas yra vieno produkto garų nusodinimas ant pagrindo, monokristalo epitaksinio sluoksnio, kuris siaurai yra CVD; kitas yra plonų plėvelių, įskaitant daugiaproduktes ir amorfines plėveles, nusodinimas ant pagrindo. Pagal...
Iš to mes tuoj išsiaiškinsime: (1) plonasluoksnių įtaisų pralaidumo, atspindžio spektrų ir atitinkamo spalvos ryšio, t. y. spalvos spektro; priešingai, šis ryšys nėra „unikalus“, pasireiškiantis kaip spalvų daugiaspektris. Todėl plėvelė...
Optinių plonų plėvelių perdavimo ir atspindžio spektrai bei spalvos yra dvi plonų plėvelių įtaisų charakteristikos, egzistuojančios tuo pačiu metu. 1. Perdavimo ir atspindžio spektras yra optinių plonų plėvelių įtaisų atspindžio ir pralaidumo santykis su bangos ilgiu. Tai...
AF plonasluoksnės garinimo optinio PVD vakuuminio dengimo mašina skirta plonasluoksnėms dangoms dengti ant mobiliųjų įrenginių naudojant fizikinio garinimo nusodinimo (PVD) procesą. Proceso metu dengimo kameroje sukuriama vakuuminė aplinka, kurioje kietos medžiagos išgarinamos, o po to nusodinamos...
Aliuminio sidabro vakuuminio dengimo veidrodžių gamybos mašina savo pažangiomis technologijomis ir tiksliąja inžinerija sukėlė revoliuciją veidrodžių gamybos pramonėje. Ši moderni mašina skirta plonam aliuminio sidabro sluoksniui užtepti ant stiklo paviršiaus, sukuriant aukštos kokybės...
Optinis vakuuminis metalizatorius yra pažangiausia technologija, sukėlęs revoliuciją paviršių dengimo pramonėje. Šis pažangus aparatas naudoja procesą, vadinamą optiniu vakuuminiu metalizavimu, kad ant įvairių paviršių būtų užtepamas plonas metalo sluoksnis, sukuriant labai atspindintį ir patvarų paviršių...
Dauguma cheminių elementų gali būti išgarinti juos sujungiant cheminėmis grupėmis, pvz., Si reaguoja su H ir sudaro SiH4, o Al jungiasi su CH3 ir sudaro Al(CH3). Terminio CVD proceso metu minėtos dujos, eidamos pro įkaitintą pagrindą, sugeria tam tikrą kiekį šiluminės energijos ir sudaro...
Cheminis garų nusodinimas (CVD). Kaip rodo pavadinimas, tai technika, kurios metu dujiniai pirmtakų reagentai naudojami kietoms plėvelėms generuoti atominių ir tarpmolekulinių cheminių reakcijų būdu. Skirtingai nuo PVD, CVD procesas dažniausiai atliekamas aukštesnio slėgio (mažesnio vakuumo) aplinkoje,...
3. Pagrindo temperatūros įtaka Pagrindo temperatūra yra viena iš svarbių membranos augimo sąlygų. Ji suteikia papildomos energijos membranos atomams arba molekulėms ir daugiausia veikia membranos struktūrą, agliutinacijos koeficientą, plėtimosi koeficientą ir agregatą...
Optinių plonasluoksnių įtaisų gamyba atliekama vakuuminėje kameroje, o plėvelės sluoksnio augimas yra mikroskopinis procesas. Tačiau šiuo metu tiesiogiai kontroliuojami makroprocesai yra kai kurie makroskopiniai veiksniai, kurie netiesiogiai susiję su kokybe...
Kietų medžiagų kaitinimo aukšto vakuumo aplinkoje procesas, siekiant jas sublimuoti arba išgarinti ir nusodinti ant konkretaus pagrindo, kad būtų gauta plona plėvelė, vadinamas vakuuminiu garinimu. Plonų plėvelių gamybos vakuuminiu garinimu istorija...
Indžio alavo oksidas (indio alavo oksidas, vadinamas ITO) yra plataus draudžiamojo tarpo, stipriai legiruota n tipo puslaidininkinė medžiaga, pasižyminti dideliu matomos šviesos pralaidumu ir maža varža, todėl plačiai naudojama saulės elementuose, plokščiuosiuose ekranuose, elektrochrominiuose languose, neorganiniuose ir organiniuose...
Laboratoriniai vakuuminiai sukamieji dengimo įrenginiai yra svarbūs įrankiai plonų plėvelių nusodinimo ir paviršiaus modifikavimo srityje. Ši pažangi įranga skirta tiksliai ir tolygiai užtepti įvairių medžiagų plonas plėveles ant substratų. Procesas apima skysto tirpalo arba suspensijos užtepimą...
Yra du pagrindiniai jonų pluošto pagalba nusodinimo būdai: dinaminis hibridinis ir statinis hibridinis. Pirmasis reiškia, kad plėvelės augimo procesą visada lydi tam tikra jonų bombardavimo energija ir pluošto srovė, o antrasis – iš anksto nusodinamas ant...
① Jonų pluošto pagalba nusodinimo technologija pasižymi stipriu plėvelės ir pagrindo sukibimu, todėl plėvelės sluoksnis yra labai tvirtas. Eksperimentai parodė, kad: jonų pluošto pagalba nusodinant, sukibimas yra kelis kartus didesnis nei terminio garinimo būdu nusodinant, iki šimtų kartų...