Vakuuminis linijinis dengimo įrenginys yra pažangi dengimo sistema, skirta nepertraukiamai, didelio našumo gamybos aplinkai. Skirtingai nuo partijų dengimo įrenginių, kurie apdoroja substratus atskiromis grupėmis, linijiniai dengimo įrenginiai leidžia substratams nuolat judėti per įvairius dengimo proceso etapus. Čia pateikiama išsami vakuuminio linijinio dengimo įrenginio veikimo ir jo taikymo apžvalga:
Pagrindiniai komponentai ir procesas
Pakrovimo / iškrovimo stotys: Substratai į sistemą pakraunami pradžioje ir iškraunami pabaigoje. Tai galima automatizuoti, siekiant padidinti našumą.
Transportavimo sistema: Konvejeris arba panašus mechanizmas perkelia substratus per skirtingus dengimo proceso etapus.
Vakuuminės kameros: Dengimo įrenginį sudaro kelios sujungtos vakuuminės kameros, kurių kiekviena skirta konkrečiai dengimo proceso daliai. Šios kameros laikomos aukšto vakuumo būsenoje, kad būtų užtikrintas švarus ir kontroliuojamas nusodinimas.
Išankstinio apdorojimo stotys: Pagrindai gali būti valomi arba ėsdinami, kad būtų pašalinti teršalai ir paruoštas paviršius dengimui.
Purškimo arba garinimo stotys: Šiose stotyse vyksta tikrasis dengimas. Purškimo taikiniai arba garinimo šaltiniai naudojami norimai medžiagai nusodinti ant substratų.
Aušinimo stotys: Po padengimo substratus gali tekti aušinti, kad būtų užtikrintas plonos plėvelės stabilumas ir sukibimas.
Patikrinimas ir kokybės kontrolė: Integruotos realaus laiko stebėjimo ir patikros sistemos užtikrina, kad dangos atitiktų reikiamas specifikacijas.
Privalumai
Didelis našumas: Nuolatinis apdorojimas leidžia greitai padengti didelius substratų kiekius.
Vienodos dangos: Tikslus nusodinimo proceso valdymas užtikrina vienodas ir aukštos kokybės plonas plėveles.
Mastelio keitimas: Tinka didelio masto gamybai, todėl idealiai tinka pramoniniam naudojimui.
Universalumas: gali būti naudojamas įvairių medžiagų, įskaitant metalus, oksidus ir nitridus, nusodinimui.
Paraiškos
Puslaidininkių gamyba: Naudojama įvairiems sluoksniams nusodinti gaminant integrinius grandynus.
Fotovoltiniai elementai: saulės baterijų medžiagų padengimas, siekiant padidinti jų efektyvumą.
Optinės dangos: neatspindinčių dangų, veidrodžių ir lęšių gamyba.
Pakuotė: barjerinių dangų dengimas lanksčioms pakavimo medžiagoms.
Ekrano technologija: LCD, OLED ir kitų tipų ekranuose naudojamų pagrindų danga.
Vakuuminiai linijiniai dengimo įrenginiai yra būtini pramonės šakoms, kurioms reikalingos aukštos kokybės plonos plėvelės su pastoviomis savybėmis, ir jie atlieka svarbų vaidmenį šiuolaikiniuose gamybos procesuose.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. liepos 12 d.