ເຄື່ອງເຄືອບດິນເຜົາສູນຍາກາດແມ່ນລະບົບການເຄືອບແບບພິເສດທີ່ອອກແບບມາເພື່ອສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ບໍ່ເຫມືອນກັບເຄື່ອງເຄືອບດິນເຜົາ batch, ເຊິ່ງປຸງແຕ່ງ substrates ໃນກຸ່ມທີ່ບໍ່ຊ້ໍາກັນ, coaters inline ອະນຸຍາດໃຫ້ substrates ຍ້າຍຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໂດຍຜ່ານຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການເຄືອບ. ນີ້ແມ່ນການເບິ່ງລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບວິທີເຄື່ອງເຄືອບດິນເຜົາສູນຍາກາດເຮັດວຽກ ແລະການນຳໃຊ້ຂອງມັນ:
ອົງປະກອບຫຼັກ ແລະຂະບວນການ
ສະຖານີ Load/Unload: Substrates ແມ່ນ loaded ເຂົ້າໄປໃນລະບົບໃນຕອນເລີ່ມຕົ້ນແລະ unloaded ໃນທ້າຍ. ນີ້ສາມາດອັດຕະໂນມັດເພື່ອເພີ່ມການສົ່ງຜ່ານ.
ລະບົບການຂົນສົ່ງ: ເຄື່ອງລໍາລຽງຫຼືກົນໄກທີ່ຄ້າຍຄືກັນຍ້າຍ substrates ໂດຍຜ່ານຂັ້ນຕອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຂະບວນການເຄືອບ.
ຫ້ອງສູນຍາກາດ: ເຄື່ອງເຄືອບປະກອບດ້ວຍຫ້ອງສູນຍາກາດທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ຫຼາຍ, ແຕ່ລະຄົນອຸທິດຕົນເພື່ອສ່ວນສະເພາະໃດຫນຶ່ງຂອງຂະບວນການເຄືອບ. ຫ້ອງເຫຼົ່ານີ້ຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງເພື່ອຮັບປະກັນການຖິ້ມຂີ້ເຫຍື້ອທີ່ສະອາດແລະຄວບຄຸມ.
ສະຖານີກ່ອນການປິ່ນປົວ: ແຜ່ນຍ່ອຍອາດຈະຜ່ານສະຖານີທໍາຄວາມສະອາດຫຼືການຂຸດເຈາະເພື່ອເອົາສິ່ງປົນເປື້ອນແລະກະກຽມພື້ນຜິວສໍາລັບການເຄືອບ.
ສະຖານີ Sputtering ຫຼື Evaporation: ສະຖານີເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ການເຄືອບຕົວຈິງເກີດຂຶ້ນ. Sputtering ເປົ້າຫມາຍຫຼືແຫຼ່ງ evaporation ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຝາກວັດຖຸທີ່ຕ້ອງການໃສ່ substrates ໄດ້.
ສະຖານີເຮັດຄວາມເຢັນ: ຫຼັງຈາກການເຄືອບ, ແຜ່ນຍ່ອຍອາດຈະຕ້ອງເຮັດໃຫ້ເຢັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະການຍຶດເກາະຂອງແຜ່ນບາງໆ.
ການກວດສອບແລະການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ: ລະບົບປະສົມປະສານສໍາລັບການກວດສອບແລະການກວດກາໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າການເຄືອບແມ່ນຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະ.
ຂໍ້ດີ
ກະແສໄຟຟ້າສູງ: ການປຸງແຕ່ງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຊ່ວຍໃຫ້ມີການເຄືອບຢ່າງໄວວາຂອງ substrates ຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍ.
ການເຄືອບເອກະພາບ: ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນກ່ຽວກັບຂະບວນການຂອງເງິນຝາກເຮັດໃຫ້ຮູບເງົາບາງໆເປັນເອກະພາບແລະມີຄຸນນະພາບສູງ.
Scalability: ເຫມາະສໍາລັບການຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາ.
Versatility: ສາມາດໃຊ້ເພື່ອຝາກວັດສະດຸທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ລວມທັງໂລຫະ, ອົກຊີ, ແລະ nitrides.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
ການຜະລິດ Semiconductor: ໃຊ້ສໍາລັບການຝາກຊັ້ນຕ່າງໆໃນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ.
ຈຸລັງ Photovoltaic: ການເຄືອບວັດສະດຸສໍາລັບແຜງແສງຕາເວັນເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງພວກເຂົາ.
Optical Coatings: ການຜະລິດການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແສງ, ກະຈົກ, ແລະເລນ.
ການຫຸ້ມຫໍ່: ນໍາໃຊ້ການເຄືອບສິ່ງກີດຂວາງກັບວັດສະດຸຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ.
ເທກໂນໂລຍີການສະແດງ: ການເຄືອບຂອງ substrates ທີ່ໃຊ້ໃນ LCD, OLED, ແລະປະເພດອື່ນໆຂອງຈໍສະແດງຜົນ.
ເຄື່ອງເຄືອບດິນເຜົາສູນຍາກາດແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການຮູບເງົາບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຄຸນສົມບັດສອດຄ່ອງ, ແລະພວກມັນມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄຫມ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-12-2024