Жабдуулар магнетрондук чачыратуу каптоо системасы + манжа изине каршы каптоо системасы + SPEEDFLO жабык цикл башкаруусу менен жабдылган.
Жабдуулар орто жыштыктагы магнетрон чачуу технологиясын жана манжа изине каршы технологияны кабыл алат. Бул атайын лазердик шаблондор үчүн иштелип чыккан нано каптоо жабдуулары. Шаблон нано каптама менен капталгандан кийин, анын бетинде ультра төмөн сүрүлүү коэффициентинин катмары пайда болушу мүмкүн, ал лазердик шаблондун бетин эффективдүү коргоо жана анын иштөө мөөнөтүн жана жакшы тактыгын жакшыртуу үчүн, ширетүү пастасын басып чыгарууда чийилбейт жана ширетүүчү пастага кармануу оңой эмес.
Жабдуу дат баспас болоттон жасалган жана кристалл айнек буюмдар үчүн ылайыктуу. Ал ар кандай оксиддерди жана жөнөкөй металлдарды жайгаштырып, жарык берүүчү түстүү пленкаларды, градиенттүү түстүү пленкаларды жана башка диэлектрик пленкаларды даярдай алат.
| ZCL0608 | ZCL1009 | ZCL1112 | ZCL1312 |
| Φ600*H800(мм) | φ1000*H900(мм) | φ1100*H1250(мм) | φ1300*H1250(мм) |
| ZCL1612 | ZCL1912 | ZCL1914 | ZCL1422 |
| φ1600*H1250(мм) | φ1900*H1250(мм) | φ1900*H1400(мм) | φ1400*H2200(мм) |