Жабдық магнетронды шашырату жабыны жүйесімен + саусақ ізіне қарсы жабын жүйесімен + SPEEDFLO тұйық циклді басқару жүйесімен жабдықталған.
Жабдық орташа жиілікті магнетронды шашырату технологиясын және саусақ ізіне қарсы технологияны қолданады. Бұл дәл лазерлік шаблондар үшін арнайы жасалған нано жабынды жабдығы. Шаблон нано жабындымен жабылғаннан кейін, оның бетінде ультра төмен үйкеліс коэффициенті бар жабын қабаты пайда болуы мүмкін, ол дәнекерлеу пастасын басып шығарған кезде сызылмайды және дәнекерлеу пастасымен жабысу оңай емес, осылайша лазерлік шаблонның бетін тиімді қорғайды және оның қызмет ету мерзімі мен дәлдігін жақсартады.
Бұл жабдық тот баспайтын болат және хрусталь шыны бұйымдарына жарамды. Ол әртүрлі оксидтер мен қарапайым металдарды тұндыруға, ағартатын түрлі-түсті пленкаларды, градиент түсті пленкаларды және басқа да диэлектрлік пленкаларды дайындауға мүмкіндік береді.
| ZCL0608 | ZCL1009 | ZCL1112 | ZCL1312 |
| Φ600*H800(мм) | φ1000*H900(мм) | φ1100*H1250(мм) | φ1300*H1250(мм) |
| ZCL1612 | ZCL1912 | ZCL1914 | ZCL1422 |
| φ1600*H1250 (мм) | φ1900*H1250 (мм) | φ1900*H1400 (мм) | φ1400*H2200(мм) |