Вакуумдук каптоочу каптоочу системанын өнүккөн түрү, үзгүлтүксүз, жогорку өндүрүштүк чөйрөлөр үчүн иштелип чыккан. Дискреттик топтордо субстраттарды иштеткен пакеттик каптоочулардан айырмаланып, линиялык каптоочулар субстраттардын каптоо процессинин ар кандай этаптары аркылуу үзгүлтүксүз жүрүшүнө мүмкүндүк берет. Бул жерде вакуумдук линейкалуу каптоочунун кантип иштээри жана анын колдонулушу жөнүндө кеңири маалымат:
Негизги компоненттер жана процесс
Жүктөө/Түшүртүү станциялары: Субстраттар системага башында жүктөлөт жана аягында түшүрүлөт. Бул өткөрүү жөндөмдүүлүгүн жогорулатуу үчүн автоматташтырылышы мүмкүн.
Транспорт системасы: Конвейер же окшош механизм каптоо процессинин ар кандай этаптары аркылуу субстраттарды жылдырат.
Вакуум камералары: каптоочу бир нече туташтырылган вакуум камераларынан турат, алардын ар бири каптоо процессинин белгилүү бир бөлүгүнө арналган. Бул камералар таза жана көзөмөлдөнгөн чөктүрүүнү камсыз кылуу үчүн жогорку вакуумда сакталат.
Алдын ала тазалоо станциялары: Булгоочу заттарды жок кылуу жана бетти жабууга даярдоо үчүн субстраттар тазалоочу же оюу станцияларынан өтүшү мүмкүн.
Чачыратуу же буулантуу станциялары: Бул станциялар чыныгы каптоо пайда болгон жерде. Каалаган материалды субстраттарга салуу үчүн чачыратуу максаттары же буулантуу булактары колдонулат.
Муздатуу станциялары: капталгандан кийин, жука пленканын туруктуулугун жана адгезиясын камсыз кылуу үчүн субстраттарды муздатуу керек болушу мүмкүн.
Текшерүү жана сапатты көзөмөлдөө: реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүү жана текшерүү үчүн интегралдык системалар жабуулардын талап кылынган техникалык талаптарга жооп беришин камсыз кылат.
Артыкчылыктары
Жогорку Өткөрүү: Үзгүлтүксүз иштетүү субстраттардын чоң көлөмүн тез каптоого мүмкүндүк берет.
Бирдиктүү каптоо: каптоо процессин так көзөмөлдөө бирдиктүү жана жогорку сапаттагы жука пленкаларга алып келет.
Масштабдуулугу: Ири масштабдагы өндүрүш үчүн ылайыктуу, бул өнөр жай колдонмолору үчүн идеалдуу.
Ар тараптуулугу: Металлдарды, оксиддерди жана нитриддерди камтыган кеңири ассортименттеги материалдарды салуу үчүн колдонсо болот.
Тиркемелер
Жарым өткөргүч өндүрүшү: интегралдык микросхемалардын өндүрүшүндө ар кандай катмарларды салуу үчүн колдонулат.
Photovoltaic клеткалар: алардын натыйжалуулугун жогорулатуу үчүн күн панелдери үчүн материалдарды каптоо.
Оптикалык каптамалар: чагылдырууга каршы жабындарды, күзгүлөрдү жана линзаларды өндүрүү.
Таңгактоо: ийкемдүү таңгактоочу материалдарга тосмо жабууларды колдонуу.
Дисплей технологиясы: LCD, OLED жана башка дисплейлерде колдонулган субстраттарды каптоо.
Вакуумдук каптоочулар ырааттуу касиеттери бар жогорку сапаттагы жука пленкаларды талап кылган тармактар үчүн өтө маанилүү жана алар заманбап өндүрүш процесстеринде маанилүү ролду ойнойт.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2024-жылдын 12-июлуна чейин