ನಿರ್ವಾತ ಇನ್ಲೈನ್ ಕೋಟರ್ ಎನ್ನುವುದು ನಿರಂತರ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ಥ್ರೂಪುಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಮುಂದುವರಿದ ರೀತಿಯ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಪ್ರತ್ಯೇಕ ಗುಂಪುಗಳಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸುವ ಬ್ಯಾಚ್ ಕೋಟರ್ಗಳಿಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, ಇನ್ಲೈನ್ ಕೋಟರ್ಗಳು ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರಗಳು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಚಲಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಇನ್ಲೈನ್ ಕೋಟರ್ ಹೇಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಅನ್ವಯಗಳ ವಿವರವಾದ ನೋಟ ಇಲ್ಲಿದೆ:
ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
ಲೋಡ್/ಅನ್ಲೋಡ್ ಸ್ಟೇಷನ್ಗಳು: ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ಗಳನ್ನು ಆರಂಭದಲ್ಲಿ ಸಿಸ್ಟಮ್ಗೆ ಲೋಡ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ ಇಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಇದನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತಗೊಳಿಸಬಹುದು.
ಸಾರಿಗೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಕನ್ವೇಯರ್ ಅಥವಾ ಅಂತಹುದೇ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವು ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಚಲಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳು: ಕೋಟರ್ ಹಲವಾರು ಸಂಪರ್ಕಿತ ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಭಾಗಕ್ಕೆ ಮೀಸಲಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಸ್ವಚ್ಛ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿತ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಈ ಕೋಣೆಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಪೂರ್ವ-ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಕೇಂದ್ರಗಳು: ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಲೇಪನಕ್ಕಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಲು ತಲಾಧಾರಗಳು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಅಥವಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಕೇಂದ್ರಗಳ ಮೂಲಕ ಹಾದು ಹೋಗಬಹುದು.
ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಬಾಷ್ಪೀಕರಣ ಕೇಂದ್ರಗಳು: ಈ ಕೇಂದ್ರಗಳಲ್ಲಿ ನಿಜವಾದ ಲೇಪನ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಗಳು ಅಥವಾ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲಗಳನ್ನು ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲೆ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ವಸ್ತುವನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕೂಲಿಂಗ್ ಸ್ಟೇಷನ್ಗಳು: ಲೇಪನದ ನಂತರ, ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸಬೇಕಾಗಬಹುದು.
ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ: ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲನೆಗಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಲೇಪನಗಳು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ.
ಅನುಕೂಲಗಳು
ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್: ನಿರಂತರ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯು ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ತಲಾಧಾರಗಳ ತ್ವರಿತ ಲೇಪನಕ್ಕೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
ಏಕರೂಪದ ಲೇಪನಗಳು: ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೇಲೆ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಏಕರೂಪದ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ತೆಳುವಾದ ಪದರಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
ಸ್ಕೇಲೆಬಿಲಿಟಿ: ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ, ಇದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಬಹುಮುಖತೆ: ಲೋಹಗಳು, ಆಕ್ಸೈಡ್ಗಳು ಮತ್ತು ನೈಟ್ರೈಡ್ಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸಬಹುದು.
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ: ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಪದರಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೋಶಗಳು: ಸೌರ ಫಲಕಗಳ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ವಸ್ತುಗಳ ಲೇಪನ.
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೇಪನಗಳು: ಪ್ರತಿಫಲಿತ-ನಿರೋಧಕ ಲೇಪನಗಳು, ಕನ್ನಡಿಗಳು ಮತ್ತು ಮಸೂರಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ.
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್: ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ತಡೆಗೋಡೆ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುವುದು.
ಪ್ರದರ್ಶನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ: LCD, OLED ಮತ್ತು ಇತರ ರೀತಿಯ ಪ್ರದರ್ಶನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ತಲಾಧಾರಗಳ ಲೇಪನ.
ಸ್ಥಿರವಾದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ನಿರ್ವಾತ ಇನ್ಲೈನ್ ಕೋಟಿಂಗ್ಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ, ಮತ್ತು ಅವು ಆಧುನಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ.
–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜುಲೈ-12-2024