សេចក្តីផ្តើម៖
សូមស្វាគមន៍មកកាន់ស៊េរីប្លក់របស់យើងនៅលើដំណើរការ PVD (Physical Vapor Deposition)! នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងនឹងទទួលយកការជ្រមុជទឹកយ៉ាងជ្រៅទៅក្នុងជំហានជាមូលដ្ឋានដែលត្រូវការ ដើម្បីសម្រេចបាននូវលទ្ធផលដ៏ល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងការទម្លាក់ PVD ។ តាមរយៈការធ្វើជាម្ចាស់នៃដំណើរការនៃការដាក់ប្រាក់ PVD អ្នកអាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពធន់ ភាពធន់នឹងច្រេះ និងសោភ័ណភាពនៃផលិតផលរបស់អ្នក។ សូមចូលរួមជាមួយពួកយើងនៅពេលយើងស្វែងយល់ពីកត្តាសំខាន់ៗដែលរួមចំណែកដល់លទ្ធផលនៃថ្នាំកូត PVD ប្រកបដោយជោគជ័យ។
ការយល់ដឹងអំពីការដាក់ PVD៖
ការទម្លាក់ PVD គឺជាវិធីសាស្រ្តដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់អនុវត្តខ្សែភាពយន្តស្តើង និងថ្នាំកូតលើផ្ទៃផ្សេងៗដូចជា លោហធាតុ សេរ៉ាមិច និងប្លាស្ទិក។ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការហួតនៃវត្ថុរឹង បន្តដោយ condensation ទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។ ថ្នាំកូតលទ្ធផលជាធម្មតាបង្ហាញនូវលក្ខណៈសម្បត្តិដែលប្រសើរឡើងដូចជា ភាពរឹង ភាពធន់នឹងសំណឹក និងរូបរាងរលោង។
ជំហានសំខាន់ៗសម្រាប់ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការទម្លាក់ PVD៖
1. ការរៀបចំផ្ទៃ៖ ការរៀបចំផ្ទៃគឺមានសារៈសំខាន់មុនពេលចាប់ផ្តើមដំណើរការ PVD ។ ការលាងសម្អាត ប៉ូលា និងបន្សុទ្ធស្រទាប់ខាងក្រោមឱ្យបានហ្មត់ចត់នឹងកម្ចាត់ភាពមិនស្អាត ធានាបាននូវភាពស្អិតជាប់បានត្រឹមត្រូវ និងការពារការខូចទ្រង់ទ្រាយ។ ផ្ទៃដែលមានភាពប្រណិតលើកកម្ពស់ការស្អិតរបស់ស្រទាប់ល្អជាងមុន និងធ្វើឲ្យគុណភាពរួមនៃប្រាក់បញ្ញើមានភាពប្រសើរឡើង។
2. បន្ទប់ដកប្រាក់៖ បរិយាកាសស្អាត និងគ្រប់គ្រងគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការទម្លាក់ PVD ប្រកបដោយជោគជ័យ។ អង្គជំនុំជម្រះបំរែបំរួលត្រូវបានរក្សាទុកនៅសម្ពាធទាប និងសីតុណ្ហភាពគ្រប់គ្រង ដែលអនុញ្ញាតឱ្យអាតូម ឬម៉ូលេគុលដែលមានចំហាយទឹកផ្លាស់ទីដោយសេរីដោយគ្មានការរំខាន។ ការជ្រើសរើសត្រឹមត្រូវនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការដាក់ប្រាក់ដូចជាសម្ពាធ សីតុណ្ហភាព និងពេលវេលានៃការដាក់ប្រាក់ធានាបាននូវកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត និងឯកសណ្ឋានត្រឹមត្រូវសម្រាប់លទ្ធផលដ៏ល្អប្រសើរ។
3. ការជ្រើសរើសប្រភពរំហួត៖ ការជ្រើសរើសប្រភពរំហួតប៉ះពាល់យ៉ាងខ្លាំងដល់ដំណើរការនៃការបញ្ចេញ PVD ។ សម្ភារៈដែលបានជ្រើសរើសគួរតែមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាពខ្សែភាពយន្តល្អ។ ប្រភពរំហួតដ៏ពេញនិយមរួមមានទូកដែលធន់ទ្រាំនឹងកំដៅ ប្រភពនៃធ្នឹមអេឡិចត្រុង ឬ cathodes magnetron sputtering cathodes ដែលនីមួយៗត្រូវបានកែសម្រួលតាមតម្រូវការជាក់លាក់។
4. ការត្រួតពិនិត្យខ្សែភាពយន្ត និងការគ្រប់គ្រងកម្រាស់៖ ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការត្រួតពិនិត្យភាពជាក់លាក់នៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការដាក់បញ្ចូល PVD ស្រប និងត្រឹមត្រូវ។ បច្ចេកវិទ្យាទំនើបដូចជា microbalances គ្រីស្តាល់រ៉ែថ្មខៀវ និងប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអុបទិក អនុញ្ញាតឱ្យមានការពង្រឹងការគ្រប់គ្រង និងការកែតម្រូវកំឡុងពេលដំណើរការដាក់ប្រាក់។ ការរក្សាកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តឱ្យបានគ្រប់គ្រាន់ធានាបាននូវដំណើរការ និងមុខងារដែលចង់បាន។
5. ការព្យាបាលក្រោយការបន្ទោរបង់៖ បន្ទាប់ពីការទម្លាក់ PVD ត្រូវបានបញ្ចប់ ដំណាក់កាលនៃការព្យាបាលក្រោយការបន្ទោរបង់អាចជួយពង្រឹងលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់ខ្សែភាពយន្ត។ ការទម្លាក់ចោល ការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ឬការឆ្លាក់អ៊ីយ៉ុង ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនូវបច្ចេកទេស ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការស្អិតជាប់ ការបញ្ចប់ផ្ទៃ និងការបន្ធូរភាពតានតឹងនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។ ការព្យាបាលក្រោយការព្យាបាលត្រឹមត្រូវធានាបាននូវភាពជាប់បានយូរ និងដំណើរការនៃថ្នាំកូត PVD ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២៤-កក្កដា-២០២៣