ម៉ាស៊ីនស្រោបខាងក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលី គឺជាប្រភេទប្រព័ន្ធថ្នាំកូតកម្រិតខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់បរិយាកាសផលិតកម្មជាបន្តបន្ទាប់ និងឆ្លងកាត់កម្រិតខ្ពស់។ មិនដូចថ្នាំកូតជាបាច់ទេ ដែលដំណើរការស្រទាប់ខាងក្រោមជាក្រុមដាច់ពីគ្នា ថ្នាំកូតខាងក្នុងអនុញ្ញាតឱ្យស្រទាប់ខាងក្រោមផ្លាស់ទីជាបន្តបន្ទាប់តាមរយៈដំណាក់កាលផ្សេងៗនៃដំណើរការថ្នាំកូត។ នេះជាការមើលលម្អិតអំពីរបៀបដែលម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្នុងអ៊ីនធឺណេតដំណើរការ និងកម្មវិធីរបស់វា៖
សមាសធាតុសំខាន់ៗ និងដំណើរការ
ស្ថានីយ៍ផ្ទុក/ផ្ទុកឡើង៖ ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានផ្ទុកទៅក្នុងប្រព័ន្ធនៅដើមដំបូង ហើយមិនផ្ទុកនៅចុងបញ្ចប់។ នេះអាចត្រូវបានធ្វើដោយស្វ័យប្រវត្តិដើម្បីបង្កើនលំហូរ។
ប្រព័ន្ធដឹកជញ្ជូន៖ ឧបករណ៍បញ្ជូនឬយន្តការស្រដៀងគ្នានេះផ្លាស់ទីស្រទាប់ខាងក្រោមតាមដំណាក់កាលផ្សេងៗនៃដំណើរការថ្នាំកូត។
Vacuum Chambers : អង្គជំនុំជម្រះ្រំមហះមានបន្ទប់បូមធូលីដែលតភ្ជាប់គ្នាជាច្រើន ដែលនីមួយៗឧទ្ទិសដល់ផ្នែកជាក់លាក់នៃដំណើរការថ្នាំកូត។ បន្ទប់ទាំងនេះត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្រោមកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវភាពស្អាតស្អំ និងការគ្រប់គ្រង។
ស្ថានីយ៍ព្យាបាលមុន៖ ស្រទាប់ខាងក្រោមអាចឆ្លងកាត់ស្ថានីយសម្អាត ឬសម្អាត ដើម្បីលុបភាពកខ្វក់ និងរៀបចំផ្ទៃសម្រាប់លាប។
Sputtering or Evaporation Stations: ស្ថានីយ៍ទាំងនេះគឺជាកន្លែងដែលថ្នាំកូតពិតប្រាកដកើតឡើង។ គោលដៅ Sputtering ឬប្រភពហួតត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់សម្ភារៈដែលចង់បានទៅស្រទាប់ខាងក្រោម។
ស្ថានីយ៍ត្រជាក់៖ បន្ទាប់ពីលាបរួច ស្រទាប់ខាងក្រោមអាចនឹងត្រូវត្រជាក់ ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាព និងការស្អិតជាប់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើង។
ការត្រួតពិនិត្យ និងត្រួតពិនិត្យគុណភាព៖ ប្រព័ន្ធរួមបញ្ចូលគ្នាសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យ និងត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែង ធានាថាថ្នាំកូតបំពេញតាមតម្រូវការជាក់លាក់។
គុណសម្បត្តិ
ទិន្នផលខ្ពស់៖ ដំណើរការបន្តអនុញ្ញាតឱ្យមានថ្នាំកូតយ៉ាងលឿននៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងបរិមាណច្រើន។
ថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន៖ ការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងច្បាស់លាស់លើដំណើរការនៃស្រទាប់ដី បណ្តាលឱ្យមានខ្សែភាពយន្តស្តើងឯកសណ្ឋាន និងគុណភាពខ្ពស់។
លទ្ធភាពធ្វើមាត្រដ្ឋាន៖ ស័ក្តិសមសម្រាប់ផលិតកម្មខ្នាតធំ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្ម។
ភាពបត់បែន៖ អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់វត្ថុធាតុជាច្រើន រួមទាំងលោហធាតុ អុកស៊ីដ និងនីទ្រីត។
កម្មវិធី
ការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក៖ ប្រើសម្រាប់ដាក់ស្រទាប់ផ្សេងៗក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។
កោសិកា Photovoltaic៖ ការស្រោបសម្ភារៈសម្រាប់បន្ទះសូឡា ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរបស់វា។
ថ្នាំកូតអុបទិក៖ ការផលិតថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង កញ្ចក់ និងកញ្ចក់។
ការវេចខ្ចប់៖ ការប្រើរបាំងការពារទៅនឹងសម្ភារៈវេចខ្ចប់ដែលអាចបត់បែនបាន។
បច្ចេកវិទ្យាបង្ហាញ៖ ការស្រោបស្រទាប់ខាងក្រោមដែលប្រើក្នុងអេក្រង់ LCD, OLED និងប្រភេទអេក្រង់ផ្សេងទៀត។
ថ្នាំកូតក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលីគឺចាំបាច់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មដែលត្រូវការខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានគុណភាពខ្ពស់ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិជាប់លាប់ ហើយពួកវាដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការផលិតទំនើប។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-១២-២០២៤