Вакуумды кірістірілген жабын - үздіксіз, жоғары өнімді өндіріс орталарына арналған жабын жүйесінің жетілдірілген түрі. Дискретті топтарда субстраттарды өңдейтін пакеттік қаптамалардан айырмашылығы, кірістірілген жабындар субстраттардың жабу процесінің әртүрлі кезеңдерінде үздіксіз қозғалуына мүмкіндік береді. Мұнда вакуумды кірістірілген жабын қалай жұмыс істейтінін және оның қолданбаларын егжей-тегжейлі қарастырыңыз:
Негізгі компоненттер және процесс
Жүктеу/түсіру станциялары: Субстраттар жүйеге басында жүктеледі және соңында түсіріледі. Бұл өткізу қабілеттілігін арттыру үшін автоматтандыруға болады.
Тасымалдау жүйесі: Конвейер немесе ұқсас механизм төсеу процесінің әртүрлі кезеңдері арқылы астарларды жылжытады.
Вакуумдық камералар: қаптама бірнеше қосылған вакуумдық камералардан тұрады, олардың әрқайсысы жабу процесінің белгілі бір бөлігіне арналған. Бұл камералар таза және бақыланатын тұндыруды қамтамасыз ету үшін жоғары вакуумда ұсталады.
Алдын ала өңдеу станциялары: ластаушы заттарды кетіру және бетті жабуға дайындау үшін субстраттар тазалау немесе сызу станциялары арқылы өтуі мүмкін.
Шашырату немесе булану станциялары: Бұл станциялар нақты жабын орын алатын орын. Қажетті материалды астарларға салу үшін шашыратқыш мақсаттар немесе булану көздері қолданылады.
Салқындату станциялары: жабыннан кейін жұқа қабықтың тұрақтылығы мен адгезиясын қамтамасыз ету үшін субстраттарды салқындату қажет болуы мүмкін.
Тексеру және сапаны бақылау: Нақты уақыттағы бақылау мен тексеруге арналған біріктірілген жүйелер жабындардың талап етілетін техникалық талаптарға сәйкес келуін қамтамасыз етеді.
Артықшылықтары
Жоғары өнімділік: Үздіксіз өңдеу үлкен көлемдегі субстраттарды жылдам жабуға мүмкіндік береді.
Біркелкі жабындар: тұндыру процесін нақты бақылау біркелкі және жоғары сапалы жұқа қабыршақтарды береді.
Масштабтау: кең ауқымды өндіріске жарамды, бұл оны өнеркәсіптік қолданбалар үшін өте қолайлы етеді.
Әмбебаптығы: металдарды, оксидтерді және нитридтерді қоса алғанда, материалдардың кең ауқымын қою үшін пайдалануға болады.
Қолданбалар
Жартылай өткізгіштер өндірісі: интегралдық схемаларды өндіруде әртүрлі қабаттарды орналастыру үшін қолданылады.
Фотоэлектрлік ұяшықтар: олардың тиімділігін арттыру үшін күн панельдері үшін материалдарды жабу.
Оптикалық жабындар: шағылысқан жабындарды, айналар мен линзаларды өндіру.
Қаптама: икемді орау материалдарына тосқауыл жабындарын қолдану.
Дисплей технологиясы: СКД, OLED және дисплейлердің басқа түрлерінде қолданылатын негіздерді жабу.
Вакуумды кірістірілген қаптамалар тұрақты қасиеттері бар жоғары сапалы жұқа қабықшаларды қажет ететін салалар үшін өте маңызды және олар заманауи өндіріс процестерінде маңызды рөл атқарады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 12 шілде 2024 ж