ПХД индустриясы жоғары тығыздықты өзара байланыстыру (HDI), интегралдық схемалардың негіздері және озық қаптама технологияларына қарай эволюциясын жалғастырған сайын, микробұрғы дәлдігі, беріктігі және тұрақтылығы өндіріс тиімділігі мен өнім сапасына тікелей әсер ететін маңызды өңдеу құралына айналды. 5G байланысының, жасанды интеллекттің, жаңа энергия көліктерінің және жоғары деңгейлі сервер нарықтарының өсіп келе жатқан сұраныстарына байланысты микробұрғыларды өңдеу сапасы мен тұрақтылығына қойылатын талаптар барған сайын қатаңдауда, бұл микробұрғылардың өнімділігін арттыруды салалық консенсусқа айналдырады.
Дәстүрлі жабын жабдықтары жоғары жылдамдықты, жоғары температуралы және жоғары жиілікті өңдеу жағдайларында, соның ішінде жеделдетілген тозу, заманауи тозу және сыну сияқты қиындықтарға тап болады, бұл өңдеу тиімділігінің төмендеуіне және өнім өнімділігінің ауытқуына әкеледі. Сонымен қатар, жоғары TG ламинаттары мен толтырғыштармен күшейтілген негіздер сияқты ПХД материалдары дами берген сайын, тозуға төзімділік, адгезияға қарсылық және термиялық тұрақтылыққа қойылатын талаптар айтарлықтай артты.
Осыған байланысты, микробұрғылардың функционалды бетін модификациялау үшін озық вакуумдық жабын технологиясын қолдану құралдың өнімділігін арттыру және жалпы өңдеу шығындарын азайтудың негізгі шешімі ретінде пайда болды. Жоғары өнімді жабындар құралдың қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзарта алады, кесу тұрақтылығын жақсартады және өңдеу дәлдігін арттыра алады, бұл өндірушілерге шығындарды азайту және сапаны жақсарту мақсаттарына қол жеткізуге мүмкіндік береді.
Zhenhua Vacuum компаниясы жоғары біркелкі, жоғары адгезиялы және жоғары қайталанатын жабындарды қамтамасыз ету үшін микробұрғылау қолданбаларына оңтайландырылған жетілген PVD жабын технологиясы платформасына негізделген микробұрғылауға арналған жабын жабдықтарын жасап шығарды. Бұл жоғары деңгейлі ПХД өндірісінің қатаң өнімділік талаптарының толық орындалуын қамтамасыз етеді.
Zhenhua FMA0605 қатты жабын жабдықтары
Жабдықтың артықшылықтары:
Ірі бөлшектерге арналған доғалық сүзгілеу, жоғары тиімділікті жоғары өнімділікпен үйлестіретін Ta-C жабындары
Өте жоғары қаттылыққа, төмен үйкеліс коэффициентіне және тамаша коррозияға төзімділікке қол жеткізеді
Орташа қаттылық 63 ГПа дейін
Жабу мүмкіндіктеріне AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN және CrN сияқты жоғары температураға төзімді ультра қатты жабындар кіреді, олар қалыптарда, кескіш құралдарда, тескіштерде, автомобиль бөлшектерінде, поршеньдерде және басқа да дәлдіктегі өнімдерде кеңінен қолданылады.
Zhenhua Vacuum компаниясының микробұрғымен қаптау шешімдері озық вакуумдық жабу процестерін пайдалану арқылы құралдың беріктігін, дәлдігін және жұмыс тұрақтылығын арттырады, бұл ПХД индустриясын жоғары тиімділікке, жоғары өнім сапасына және тұрақты шығындарды оңтайландыруға қол жеткізуге қолдайды.
- Бұл мақаланы жариялағанвакуумдық жабын жабдықтарын өндірушіЧжэньхуа шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 21 наурыз