ポンプシステムの真空コーティング機には、次の基本要件があります。
（１）コーティング真空システムは、十分に大きな排気速度を有し、コーティングプロセス中に基板や蒸発した材料および真空チャンバー内の部品から放出されるガスを迅速に排気できるだけでなく、スパッタリングおよびイオンコーティングプロセスから放出されるガス、ならびにスパッタリングおよびイオンコーティングプロセスおよびシステムのガス漏れも迅速に排気できるものでなければならない。
スパッタリングやイオンコーティング工程におけるガス漏れも迅速に検出できます。コーティング装置の生産性を向上させるには、迅速な稼働が不可欠です。
（2）コーティング機の排気システムの到達真空度は、フィルムの種類によって異なる。表7-9は、異なるフィルムのコーティング工程で必要とされる真空度の範囲を示している。
（3）油拡散ポンプを主ポンプとして用いる場合、ポンプの油戻り率はできるだけ小さくする必要があります。油戻り蒸気がワーク表面を汚染し、膜質を低下させるためです。コーティング工程など、膜質に対する要求が特に高い場合は、オイルフリーのポンプシステムを使用するのが最適です。油拡散ポンプを用いるポンプシステムを使用する場合は、ポンプ入口に吸着トラップ、コールドトラップなどの部品を設置する必要があり、部品の導電性にも注意を払い、真空システムが最大排気速度を維持できるようにする必要があります。
（4）真空コーティングチャンバーとその排気システムのリーク量は小さくなければなりません。たとえ微量のガス漏れであっても、フィルムの品質に影響を与えるからです。したがって、システムの密閉性を確保するためには、システム全体のリーク量を許容範囲内に抑える必要があります。
（５）真空システムの操作、使用およびメンテナンスは便利で、安定した信頼性の高い性能を備えていなければならない。
–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時: 2023年12月14日