バルブ、トラップ、集塵機、真空ポンプなどの真空コンポーネントを接続する際は、ポンプ配管を短くし、配管フローガイドを大きくし、配管径がポンプポート径よりも小さくならないようにする必要があります。これはシステム設計の重要な原則です。ただし、設置とメンテナンスの容易さも考慮する必要があります。場合によっては、振動を防止し、騒音を低減するために、機械式ポンプを真空チャンバー近くのポンプ室に設置することが許可されます。
2. 機械式ポンプ（ルーツポンプを含む）は振動を伴います。システム全体の振動を防ぐために、通常はホースで振動を抑えます。ホースには金属と非金属の2種類があり、ホースの種類に関わらず、大気圧が下がらないように注意する必要があります。
3、真空システムを構築した後は、測定とリーク検出が容易である必要があります。生産現場では、真空システムは作業工程で漏れやすく、生産に影響を与えることがしばしばあります。漏れ穴を迅速に発見するためには、部分的なリークテストを実施する必要があります。そのため、バルブで閉じられた各区間に、測定とリークテストのための測定点を少なくとも1つ設置する必要があります。
4、真空システムに設置されるバルブと配管は、システムの排気時間を短縮し、使いやすく、安全で信頼性の高いものにする必要があります。一般的に、蒸気フローポンプ（拡散ポンプまたはオイルブースターポンプ）をメインポンプとし、機械式ポンプを前段ポンプとするシステムでは、前段真空配管（機械式ポンプと直列の蒸気フローポンプの配管）に加えて、前段配管（真空チャンバーから機械式ポンプへの配管）が必要です。次に、真空チャンバーとメインポンプの間には高真空バルブ（メインバルブとも呼ばれます）があり、前段配管には前段配管バルブ（低真空バルブとも呼ばれます）があります。前段真空配管には前段真空配管バルブ（低真空バルブとも呼ばれます）があります。メインポンプの高真空バルブは、通常、真空状態ではバルブカバーの下で、大気圧状態ではバルブカバー上で開くことはできません。安全のため、電気的インターロックによって確保する必要があります。前段配管バルブと前真空配管バルブは、大気圧下でバルブ自体が開く可能性があることを考慮する必要があります。蒸気流ポンプを主ポンプとする真空システムの場合、主バルブは主ポンプに、前段配管バルブも主ポンプに、前真空配管バルブは真空チャンバーにそれぞれ接続する必要があります。機械式ポンプの入口配管には、減圧バルブを設置する必要があります。機械式ポンプが停止した場合、このバルブは直ちに開放され、機械式ポンプを大気開放することで、機械式ポンプオイルが配管に逆流するのを防ぐことができます。そのため、バルブは機械式ポンプと電気的に連動する必要があります。真空チャンバーにも、材料の投入と取り出しのための減圧バルブを設置する必要があります。減圧時のガスの大きな衝撃を考慮してバルブの位置を調整し、過度の衝撃によって真空チャンバー内の脆弱な部品が損傷するのを防ぐ必要があります。減圧バルブのサイズは真空チャンバーの容積に関係しており、減圧時間が長すぎて作業に影響を与えないように考慮する必要があります。
5、真空システムの設計は、安定した信頼性の高い排気、容易な設置、分解、メンテナンス、便利な操作、およびコンポーネント間の接続の互換性を確保する必要があります。安定した排気ガスを実現するために、メインポンプは安定しており、バルブは柔軟性と信頼性が高く、システム内の各コンポーネントのコネクタは漏れがなく、真空チャンバーは良好なシール性を備え、真空コンポーネントの接続は互換性を確保するために標準サイズである必要があります。原則として、真空システムの設計では、各密閉パイプサイズは調整可能なサイズである必要があります。以前は、この調整可能なサイズはホースを使用して解決されていましたが、現在ではほとんどのシステムがホースなしで設計されています。代わりに、真空コンポーネントの加工サイズの精度を向上させ、接続フランジにシーリングゴムリングを使用することで設置エラーを解決しました。これにより、システムの強度と剛性が向上し、システムで使用されるブラケットが削減され、より美しくなります。
6、真空システムの設計には、自動制御とインターロック保護を実現する新しい技術を採用する必要があります。真空技術の発展に伴い、真空ポンプ全体の自動運転が求められています。例えば、真空リレーを用いてルーツポンプを1333Paの圧力で始動させるなどです。水圧リレーは、蒸気流ポンプの水圧を一定の圧力で制御するために使用され、水圧が不足したり遮断されたりした場合は、直ちに電源を遮断し、警報を発します。ポンプの焼損を防ぎます。複雑な真空システムとプロセスでは、機器の厳しい要件のパラメータをマイクロコンピュータプログラムで制御し、より安全で信頼性の高いものにする必要があります。
7. 真空システムの設計は、省エネ、コスト削減、使いやすさ、信頼性が求められます。これらを実現することは経済的に大きな意義を持ち、設計された真空装置の幅広い市場展開につながります。
マグネトロンコーティング装置は、中周波マグネトロンスパッタリングとマルチアークイオンの組み合わせ技術を採用しており、プラスチック、ガラス、セラミック、ハードウェア、メガネ、時計、携帯電話アクセサリー、電子製品、クリスタルガラスなどの製品に適しています。フィルム層の接着性、再現性、密度、均一性が良好で、出力が大きく、製品の歩留まりが高いという特徴があります。
主に、金属キー、カードホルダー、センターフレームコーティングされたゴールド、ローズゴールド、ブラック、ガンメタルブラック、ブルーの携帯電話に使用されます。
–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時: 2025年1月24日