各種真空ポンプの性能は、チャンバーへの真空排気能力以外にも様々な違いがあります。そのため、真空システムにおいてポンプが担う役割を明確にすることは、ポンプ選定において非常に重要です。様々な作業分野におけるポンプの役割を以下にまとめます。
1、システムのメインポンプであること
メインポンプは、真空システムの排気チャンバーを直接排気して、プロセス要件を満たすために必要な真空度を得るための真空ポンプです。
2、粗揚水ポンプ
粗引きポンプは、空気圧から減圧を開始し、真空システムの圧力が別のポンプシステムに到達して動作を開始できる真空ポンプです。
3、前段ポンプ
プレステージポンプは、別のポンプのプレステージ圧力をその最高許容プレステージ圧力未満に維持するために使用される真空ポンプです。
4、ホールディングポンプ
ホールディングポンプは、真空システムの排気量が非常に少ない場合に、メインの前段ポンプを効果的に使用できないポンプです。このため、メインポンプの正常な動作を維持するため、または空になった容器に必要な低圧を維持するために、真空システムには排気速度の低い別の補助の前段ポンプが使用されます。
5、粗真空ポンプまたは低真空ポンプ
低真空ポンプは、空気から始動し、排気容器の圧力を下げた後、低真空または粗真空圧力の範囲で動作する真空ポンプです。
6、高真空ポンプ
高真空ポンプとは、高真空範囲で動作する真空ポンプを指します。
7、超高真空ポンプ
超高真空ポンプとは、超高真空領域で動作する真空ポンプを指します。
8、ブースターポンプ
ブースターポンプは通常、低真空ポンプと高真空ポンプの間で作動する真空ポンプを指し、中圧範囲でのポンプシステムのポンプ能力を高めたり、前者のポンプのポンプ速度要件を下げたりします。
–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時: 2024年2月29日