応用
インテリジェントコックピットや先進運転支援システムの急速な発展に伴い、ヘッドアップディスプレイ（HUD）モジュールや車載ディスプレイカバーガラスには、光学コーティング性能に対する要求がますます厳しくなっています。高い可視光反射率、長期的な塗膜安定性、そしてロット間の均一性が、重要な評価基準となっています。
マグネトロンスパッタリングを用いた光学コーティングプロセスは、現在、HUD（ヘッドアップディスプレイ）やハイエンド自動車用ディスプレイガラスの製造における主流技術として広く認知されている。
顧客の課題
処理能力と積載容量に制限があります
従来のコーティングシステムでは、1回あたりの処理量に制限があるため、大量生産の要件を満たすことが難しい。
極めて厳しいフィルム均一性要件
HUD（ヘッドアップディスプレイ）用途では、反射率、屈折率、膜厚を精密に制御する必要があり、プロセス変動に対する許容度は非常に低い。
多機能コーティングスタックの統合における困難さ
頻繁な工程変更や複数のコーティング工程は、生産効率を低下させ、全体的な歩留まりに悪影響を与える。
振華真空ソリューション
Zhenhua Vacuum社は、高度に自動化されたスパッタリングプラットフォームとイオン源アシスト、そして精密な膜厚制御を組み合わせたGFM1916マグネトロンスパッタリング光学コーティングシステムを発表しました。
このシステムは、HUDモジュールや自動車用ガラスカバー用途向けの高性能光学コーティングの安定的な量産を可能にし、高いスループット、優れた一貫性、およびプロセスの柔軟性というバランスの取れたソリューションを提供します。
主な機器の利点
安定した運転を実現する完全自動化プロセス制御
エンドツーエンドの自動制御により、操作の簡素化、高いプロセス再現性、および連続生産環境における信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。
高い積載能力と大規模な生産性
円筒形の基板キャリア設計により、従来の電子ビーム蒸着システムと比較して、1バッチあたりの積載容量が2倍になり、柔軟な用途に対応できるよう、複数の基板形状をサポートする。
優れた光学フィルム性能
PVD + CVDハイブリッドコーティング構造とイオンアシスト蒸着（IAD）を組み合わせることで、高屈折率で安定した高密度膜と優れた密着性を実現します。このシステムは、アルミニウム反射層、誘電体層、およびAF（指紋防止）コーティングのワンパス成膜に対応しています。
厳格なHUD基準を満たす精密コーティング制御
正確な膜厚制御を実現する水晶振動子式モニタリングシステムと、SPEEDFLOクローズドループ完全自動制御システムを組み合わせることで、SiO₂成膜効率が大幅に向上しました。可視光反射率は常に90%以上を維持し、HUD用途における厳しい光学性能要件を完全に満たしています。
–この記事は 真空コーティング装置メーカー：Zhenhua Vacuum
投稿日時：2025年12月29日