A. Ìre spùtadh àrd. Mar eisimpleir, nuair a bhios SiO2 ga spùtadh, faodaidh an ìre tasgaidh a bhith suas ri 200nm/min, mar as trice suas ri 10~100nm/min. Agus tha an ìre cruthachadh film dìreach co-rèireach ris a’ chumhachd àrd-tricead. B. Tha an greamachadh eadar am film agus an t-substrate nas motha na an vape falamh...
Tha loidhnichean cinneasachaidh film lampa chàraichean nam pàirt riatanach de ghnìomhachas saothrachaidh chàraichean. Tha na loidhnichean cinneasachaidh seo an urra ri còmhdach agus cinneasachadh fhilmichean lampa chàraichean, a tha a’ cluich pàirt chudromach ann a bhith a’ leasachadh bòidhchead agus gnìomhachd lampaichean chàraichean. Mar a tha an t-iarrtas airson àrd-inbhe...
Tha sputtering magnetron sa mhòr-chuid a’ toirt a-steach còmhdhail plasma sgaoilidh, gràbhaladh targaid, tasgadh film tana agus pròiseasan eile, bidh buaidh aig an raon magnetach air a’ phròiseas sputtering magnetron. Anns an t-siostam sputtering magnetron a bharrachd air raon magnetach ortogonal, tha na dealanan fo ùmhlachd th ...
Tha na riatanasan bunaiteach a leanas aig inneal còmhdach falamh air an t-siostam pumpaidh: (1) Bu chòir ìre pumpaidh mòr gu leòr a bhith aig an t-siostam falamh còmhdach, agus cha bu chòir dha dìreach na gasaichean a chaidh a leigeil ma sgaoil bhon t-substrate agus na stuthan a chaidh a ghalachadh a phumpadh a-mach gu luath, ach na co-phàirtean anns a’ ch falamh...
Bidh an inneal còmhdach PVD seudaireachd a’ cleachdadh pròiseas ris an canar Tasgadh Ceò Corporra (PVD) gus còmhdach tana ach seasmhach a chuir air pìosan seudaireachd. Tha am pròiseas seo a’ toirt a-steach cleachdadh targaidean meatailt cruaidh, àrd-ghlan, a thèid a ghalachadh ann an àrainneachd falamh. Bidh an ceò meatailt a thig às an uairsin a’ tiormachadh...
Is e aon de na prìomh bhuannachdan a tha aig innealan còmhdach falamh PVD beaga sùbailte an iomadachd. Tha na h-innealan seo air an dealbhadh gus gabhail ri measgachadh de mheudan is chumaidhean fo-strat, gan dèanamh freagarrach airson pròiseasan saothrachaidh beaga no gnàthaichte. A bharrachd air an sin, tha a mheud teann agus a chomas sùbailte...
Anns a’ ghnìomhachas saothrachaidh a tha a’ sìor atharrachadh, tha innealan gearraidh a’ cluich pàirt riatanach ann a bhith a’ cruthachadh nan toraidhean a bhios sinn a’ cleachdadh a h-uile latha. Bho ghearradh mionaideach ann an gnìomhachas an adhair-adhair gu dealbhaidhean iom-fhillte anns an raon meidigeach, tha an t-iarrtas airson innealan gearraidh àrd-inbhe a’ sìor dhol am meud. Gus coinneachadh ris an iarrtas seo, tha na SA...
Nuair a thòisicheas tasgadh ataman membran, bidh na buaidhean a leanas aig bomadh ian air an eadar-aghaidh membran/substrate. (1) Measgachadh corporra. Air sgàth stealladh ian àrd-lùth, sputtering nan ataman a chaidh a thasgadh agus stealladh recoil ataman uachdar agus iongantas bualadh easgach, le...
'S e rud a th' ann an sputtering far a bheil mìrean lùthmhor (mar as trice ianan dearbhach de ghasan) a' bualadh air uachdar stuth cruaidh (ris an canar an stuth targaid an-seo), ag adhbhrachadh do dadaman (no moileciuilean) air uachdar an stuth targaid teicheadh bhuaithe. Chaidh an rud seo a lorg le Grove ann an 1842 nuair a...
Feartan còmhdach spùtadh magnetron (3) Spùtadh lùth ìosal. Air sgàth bholtaids ìosal catod a chuirear air an targaid, tha am plasma ceangailte leis an raon magnetach anns an àite faisg air a’ chatod, agus mar sin a’ cur bacadh air na mìrean àrd-lùth a thèid a ghearradh gu taobh an t-substrate a bhios daoine a’ losgadh. An...
An coimeas ri teicneòlasan còtaidh eile, tha na feartan a leanas aig còtadh sputtering magnetron: tha raon atharrachaidh fiùghantach mòr aig na paramadairean obrach de astar tasgadh còtaidh agus faodar tiugh (stàit na sgìre còtaichte) a smachdachadh gu furasta, agus chan eil dealbhadh ann...
Is e teicneòlas tasgadh le taic bho ghathan ian an teicneòlas còmhdach tasgadh smùid is in-stealladh ghathan ian còmhla ri teicneòlas giullachd co-dhèanta uachdar ian. Ann am pròiseas atharrachadh uachdar stuthan in-stealladh ian, ge bith an e stuthan leth-chonnsachaidh no stuthan innleadaireachd a th’ annta, tha e de...
Anns na bliadhnachan mu dheireadh, chaidh adhartas agus briseadh-troimhe mòr a dhèanamh ann an raon teicneòlas còmhdach falamh. Chan eil seo comasach ach air sgàth oidhirpean gun sgur ann an deuchainnean agus rannsachadh. Am measg nan iomadh inneal a thathas a’ cleachdadh san raon seo, tha innealan còmhdach falamh deuchainneach nan innealan cudromach airson coileanadh...
Tha teicneòlas CVD stèidhichte air ath-bhualadh ceimigeach. Mar as trice canar ath-bhualadh CVD ris an ath-bhualadh anns a bheil na luchd-freagairt ann an staid gasach agus aon de na toraidhean ann an staid chruaidh, agus mar sin feumaidh an siostam ath-bhualadh ceimigeach aige na trì cumhaichean a leanas a choileanadh. (1) Aig teòthachd an tasgaidh...
Anns an t-saoghal luath an-diugh, tha speuclairean air a bhith nam pàirt riatanach de ar beatha. Tha na goireasan sìmplidh seo air fàs bho bhith riatanach gu bhith nan aithris fasain. Ach, chan eil mòran dhaoine mothachail air a’ phròiseas iom-fhillte a tha an lùib a bhith a’ cruthachadh paidhir foirfe de lionsan speuclairean. Seo...