A. Ráta ard spútaireachta. Mar shampla, agus SiO2 á spútaireacht, is féidir leis an ráta taiscthe a bheith suas le 200nm/nóim, de ghnáth suas le 10~100nm/nóim. Agus tá ráta foirmithe scannáin comhréireach go díreach leis an gcumhacht ardmhinicíochta. B. Tá an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit níos mó ná an gal folúis...
Is cuid riachtanach den tionscal déantúsaíochta gluaisteán iad línte táirgthe scannán lampaí gluaisteán. Tá na línte táirgthe seo freagrach as sciath agus táirgeadh scannán lampaí gluaisteán, a bhfuil ról ríthábhachtach acu maidir le feabhas a chur ar aeistéitic agus ar fheidhmiúlacht lampaí gluaisteán. De réir mar a mhéadaíonn an t-éileamh ar ardcháilíocht...
Áirítear le spútaradh maighnéadróin go príomha iompar plasma urscaoilte, greanadh sprice, taisceadh scannán tanaí agus próisis eile, agus beidh tionchar ag an réimse maighnéadach ar an bpróiseas spútaradh maighnéadróin. Sa chóras spútaradh maighnéadróin móide réimse maighnéadach ortagónach, bíonn na leictreoin faoi réir an...
Tá na bunriachtanais seo a leanas ag baint leis an meaisín sciath folúis ar an gcóras caidéil: (1) Ba cheart go mbeadh ráta caidéil sách mór ag an gcóras sciath folúis, agus ní hamháin gur cheart dó na gáis a scaoiltear ón tsubstráit agus na hábhair ghalaithe a phumpáil amach go tapa agus na comhpháirteanna sa ch folúis...
Úsáideann an meaisín sciath PVD seodra próiseas ar a dtugtar Taisceadh Fisiceach Gaile (PVD) chun sciath tanaí ach buan a chur ar phíosaí seodra. Baineann an próiseas seo le húsáid spriocanna miotail soladacha ard-íonachta, a ghalú i dtimpeallacht folúis. Ansin, comhdhlúthaíonn an gal miotail a eascraíonn as...
Ceann de na príomhbhuntáistí a bhaineann le meaisíní sciath folúis PVD solúbtha beaga ná a n-ildánacht. Tá na meaisíní seo deartha chun freastal ar réimse méideanna agus cruthanna foshraithe, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach do phróisis déantúsaíochta ar scála beag nó saincheaptha. Ina theannta sin, a mhéid dlúth agus a ndaingneacht sholúbtha...
Sa tionscal déantúsaíochta atá ag athrú i gcónaí, tá ról ríthábhachtach ag uirlisí gearrtha i múnlú na dtáirgí a úsáidimid gach lá. Ó ghearradh beacht sa tionscal aeraspáis go dearaí casta sa réimse leighis, tá an t-éileamh ar uirlisí gearrtha ardchaighdeáin ag méadú i gcónaí. Chun freastal ar an éileamh seo, tá na Stáit Aontaithe...
Nuair a thosaíonn taisceadh adaimh membrane, bíonn na héifeachtaí seo a leanas ag buamáil ian ar an gcomhéadan membrane/foshraith. (1) Meascadh fisiceach. Mar gheall ar instealladh ian ardfhuinnimh, spútaradh na n-adamh taiscthe agus instealladh frithchúlaithe adaimh dhromchla agus feiniméan imbhuailte easghluaiseachta,...
Is feiniméan é spútaráil ina mbuaileann cáithníní fuinniúla (de ghnáth iain dhearfacha gás) dromchla solad (ar a dtugtar an t-ábhar sprice anseo feasta), rud a fhágann go n-éalaíonn adaimh (nó móilíní) ar dhromchla an ábhair sprice uaidh. D'aimsigh Grove an feiniméan seo sa bhliain 1842 nuair a...
Saintréithe sciath spútaireachta maighnéadróin (3) Spútaireacht ísealfhuinnimh. Mar gheall ar an voltas íseal catóide a chuirtear i bhfeidhm ar an sprioc, tá an plasma ceangailte ag an réimse maighnéadach sa spás in aice leis an gcatóid, rud a chuireann cosc ar na cáithníní luchtaithe ardfhuinnimh ar thaobh an tsubstráit a lámhaigh daoine. An...
I gcomparáid le teicneolaíochtaí sciath eile, is iad na gnéithe seo a leanas is sainairíonna don sciath spútar maighnéadrón: tá raon mór coigeartaithe dinimiciúil ag na paraiméadair oibre maidir le luas agus tiús an taiscthe sciath (stádas an limistéir brataithe) is féidir a rialú go héasca, agus níl aon dearadh ann...
Is í an teicneolaíocht taiscthe le cúnamh bhíoma ian an teicneolaíocht sciath insteallta bhíoma ian agus taiscthe gaile in éineacht le teicneolaíocht próiseála ilchodach dromchla ian. I bpróiseas modhnú dromchla ábhar insteallta ian, bíodh sé ina ábhair leathsheoltóra nó ina ábhair innealtóireachta, tá sé de...
Le blianta beaga anuas, tá dul chun cinn agus dul chun cinn suntasach déanta i réimse na teicneolaíochta sciath folúis. Ní féidir é seo a dhéanamh ach amháin mar gheall ar iarrachtaí gan staonadh i dturgnamhaíocht agus i dtaighde. I measc na meaisíní iomadúla a úsáidtear sa réimse seo, is uirlisí ríthábhachtacha iad meaisíní sciath folúis turgnamhacha chun...
Tá teicneolaíocht CVD bunaithe ar imoibriú ceimiceach. De ghnáth tugtar imoibriú CVD ar an imoibriú ina bhfuil na himoibrithe i riocht gásach agus ceann de na táirgí i riocht soladach, dá bhrí sin ní mór dá chóras imoibriúcháin cheimicigh na trí choinníoll seo a leanas a chomhlíonadh. (1) Ag an teocht taiscthe...
I saol an lae inniu atá ag athrú go tapa, tá spéaclaí ina gcuid dhílis dár saol. Tá na gabhálais seo, a bhfuil cuma shimplí orthu, tar éis teacht chun cinn ó riachtanas go ráiteas faisin. Mar sin féin, níl mórán daoine ar an eolas faoin bpróiseas casta a bhaineann le péire foirfe lionsaí spéaclaí a chruthú. Seo...