Tyhjiölinjapinnoituskone on edistynyt pinnoitusjärjestelmä, joka on suunniteltu jatkuvatoimisiin, suuren läpimenon tuotantoympäristöihin. Toisin kuin eräpinnoituskoneet, jotka käsittelevät substraatteja erillisissä ryhmissä, linjapinnoituskoneet mahdollistavat substraattien jatkuvan liikkumisen pinnoitusprosessin eri vaiheiden läpi. Tässä on yksityiskohtainen katsaus tyhjiölinjapinnoituskoneen toimintaan ja sen sovelluksiin:
Keskeiset komponentit ja prosessi
Lataus-/purkuasemat: Substraatit ladataan järjestelmään alussa ja puretaan lopussa. Tämä voidaan automatisoida läpimenon lisäämiseksi.
Kuljetusjärjestelmä: Kuljetin tai vastaava mekanismi siirtää substraatteja pinnoitusprosessin eri vaiheiden läpi.
Tyhjiökammiot: Päällystyslaite koostuu useista toisiinsa kytketyistä tyhjiökammioista, joista jokainen on tarkoitettu tiettyyn päällystysprosessin osaan. Näitä kammioita pidetään korkeassa tyhjiössä puhtaan ja kontrolloidun pinnoituksen varmistamiseksi.
Esikäsittelyasemat: Alustat voivat kulkea puhdistus- tai syövytysasemien läpi epäpuhtauksien poistamiseksi ja pinnan valmisteluksi pinnoitusta varten.
Sputterointi- tai haihdutusasemat: Näissä asemissa varsinainen pinnoitus tapahtuu. Sputterointikohteita tai haihdutuslähteitä käytetään halutun materiaalin kerrostamiseen alustoille.
Jäähdytysasemat: Pinnoituksen jälkeen substraatit saattavat olla tarpeen jäähdyttää ohutkalvon vakauden ja tarttuvuuden varmistamiseksi.
Tarkastus ja laadunvalvonta: Integroidut reaaliaikaisen seurannan ja tarkastuksen järjestelmät varmistavat, että pinnoitteet täyttävät vaaditut vaatimukset.
Edut
Suuri läpivirtaus: Jatkuva prosessointi mahdollistaa suurten määrien alustojen nopean pinnoittamisen.
Yhtenäiset pinnoitteet: Tarkka pinnoitusprosessin hallinta tuottaa yhtenäisiä ja korkealaatuisia ohutkalvoja.
Skaalautuvuus: Soveltuu laajamittaiseen tuotantoon, joten se on ihanteellinen teollisiin sovelluksiin.
Monipuolisuus: Voidaan käyttää monenlaisten materiaalien, kuten metallien, oksidien ja nitridien, kerrostamiseen.
Sovellukset
Puolijohteiden valmistus: Käytetään erilaisten kerrosten kerrostamiseen integroitujen piirien valmistuksessa.
Aurinkokennot: Aurinkopaneelien materiaalien pinnoitus niiden tehokkuuden parantamiseksi.
Optiset pinnoitteet: Heijastamattomien pinnoitteiden, peilien ja linssien valmistus.
Pakkaus: Suojapinnoitteiden levittäminen joustaville pakkausmateriaaleille.
Näyttötekniikka: LCD-, OLED- ja muuntyyppisissä näytöissä käytettyjen alustojen pinnoitus.
Tyhjiöinline-päällystyslaitteet ovat välttämättömiä teollisuudenaloille, jotka vaativat korkealaatuisia ja ominaisuuksiltaan tasaisia ohutkalvoja, ja niillä on ratkaiseva rooli nykyaikaisissa valmistusprosesseissa.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 12.7.2024