Hutsean lerroko estaldura-makina estaldura-sistema aurreratu mota bat da, etengabeko ekoizpen-inguruneetarako diseinatua. Substratuak talde diskretuetan prozesatzen dituzten sorta-estaldura-makinek ez bezala, lerroko estaldura-makinek substratuak estaldura-prozesuko hainbat etapatan zehar etengabe mugitzea ahalbidetzen dute. Hona hemen hutsean lerroko estaldura-makina batek nola funtzionatzen duen eta bere aplikazioak zehatz-mehatz aztertzeko modua:
Osagai nagusiak eta prozesua
Kargatu/Deskargatu estazioak: Substratuak hasieran sisteman kargatzen dira eta amaieran deskargatzen dira. Hau automatizatu daiteke ekoizpena handitzeko.
Garraio sistema: Garraio-mekanismo batek edo antzeko batek substratuak estaldura-prozesuko etapa desberdinetan zehar mugitzen ditu.
Hutseko Ganberak: Estaldura-makinak hainbat hutseko ganbera konektatuz osatuta dago, bakoitza estaldura-prozesuaren zati espezifiko bati eskainia. Ganbera hauek hutsean mantentzen dira deposizio garbia eta kontrolatua bermatzeko.
Aurretratamendu estazioak: Substratuak garbiketa edo grabatze estazioetatik pasa daitezke kutsatzaileak kentzeko eta gainazala estaldurarako prestatzeko.
Sputtering edo lurruntze estazioak: Estazio hauetan gertatzen da benetako estaldura. Sputtering helburuak edo lurruntze iturriak erabiltzen dira nahi den materiala substratuetan uzteko.
Hozte estazioak: Estalduraren ondoren, substratuak hoztu behar izatea geruza mehearen egonkortasuna eta atxikimendua bermatzeko.
Ikuskapena eta Kalitate Kontrola: Denbora errealeko monitorizazio eta ikuskapenerako sistema integratuek ziurtatzen dute estaldurak beharrezko zehaztapenak betetzen dituztela.
Abantailak
Errendimendu Handia: Prozesamendu jarraituak substratu kantitate handien estaldura azkarra ahalbidetzen du.
Estaldura uniformeak: Deposizio-prozesuaren kontrol zehatzak film mehe uniforme eta kalitate handikoak sortzen ditu.
Eskalagarritasuna: Eskala handiko ekoizpenerako egokia, industria-aplikazioetarako aproposa bihurtuz.
Malgutasuna: Material sorta zabala gordailatu dezake, besteak beste, metalak, oxidoak eta nitruroak.
Aplikazioak
Erdieroaleen fabrikazioa: zirkuitu integratuen ekoizpenean hainbat geruza jartzeko erabiltzen da.
Zelula fotovoltaikoak: Eguzki-panelen materialen estaldura haien eraginkortasuna hobetzeko.
Estaldura optikoak: islatzearen aurkako estaldurak, ispiluak eta lenteak ekoiztea.
Ontziratzea: Ontziratzeko material malguei hesi-estaldurak aplikatzea.
Pantaila-teknologia: LCD, OLED eta beste pantaila mota batzuetan erabiltzen diren substratuen estaldura.
Hutsean lerrokatzeko estaldura-makinak ezinbestekoak dira propietate koherenteak dituzten kalitate handiko film meheak behar dituzten industrietarako, eta funtsezko zeregina dute fabrikazio-prozesu modernoetan.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko uztailaren 12a