Vaakumkatmismasin on täiustatud katmissüsteem, mis on loodud pideva ja suure läbilaskevõimega tootmiskeskkondade jaoks. Erinevalt partiikatmismasinatest, mis töötlevad substraate eraldi rühmadena, võimaldavad reakatmismasinad substraatidel pidevalt liikuda läbi katmisprotsessi eri etappide. Siin on üksikasjalik ülevaade vaakumkatmismasina tööpõhimõttest ja selle rakendustest:
Põhikomponendid ja protsess
Laadimis-/mahalaadimisjaamad: Substraadid laaditakse süsteemi alguses ja mahalaaditakse lõpus. Läbilaskevõime suurendamiseks saab seda automatiseerida.
Transpordisüsteem: Konveier või sarnane mehhanism liigutab aluspindu katmisprotsessi eri etappides.
Vaakumkambrid: Kattemasin koosneb mitmest omavahel ühendatud vaakumkambrist, millest igaüks on pühendatud katmisprotsessi kindlale osale. Neid kambreid hoitakse kõrgvaakumis, et tagada puhas ja kontrollitud sadestamine.
Eeltöötlusjaamad: Aluspinnad võivad läbida puhastus- või söövitusjaamu saasteainete eemaldamiseks ja pinna ettevalmistamiseks katmiseks.
Pihustus- või aurustusjaamad: Nendes jaamades toimub tegelik katmine. Soovitud materjali aluspindadele sadestamiseks kasutatakse pihustussihtmärke või aurustusallikaid.
Jahutusjaamad: Pärast katmist võib õhukese kile stabiilsuse ja nakkuvuse tagamiseks olla vaja aluspindu jahutada.
Kontroll ja kvaliteedikontroll: integreeritud süsteemid reaalajas jälgimiseks ja kontrolliks tagavad, et katted vastavad nõutavatele spetsifikatsioonidele.
Eelised
Suur läbilaskevõime: Pidev töötlemine võimaldab suurte koguste substraatide kiiret katmist.
Ühtlased katted: Sadestamisprotsessi täpne kontroll tagab ühtlased ja kvaliteetsed õhukesed kilekihid.
Skaleeritavus: Sobib suuremahuliseks tootmiseks, mistõttu sobib see ideaalselt tööstuslikeks rakendusteks.
Mitmekülgsus: Seda saab kasutada paljude materjalide, sealhulgas metallide, oksiidide ja nitriidide sadestamiseks.
Rakendused
Pooljuhtide tootmine: kasutatakse integraallülituste tootmisel erinevate kihtide sadestamiseks.
Fotogalvaanilised elemendid: päikesepaneelide materjalide katmine nende efektiivsuse suurendamiseks.
Optilised katted: peegeldusvastaste katete, peeglite ja läätsede tootmine.
Pakendamine: barjäärikihtide pealekandmine paindlikele pakkematerjalidele.
Ekraanitehnoloogia: LCD-, OLED- ja muud tüüpi ekraanides kasutatavate aluspindade katmine.
Vaakumkatmisseadmed on olulised tööstusharudes, mis vajavad kvaliteetseid ja ühtlaste omadustega õhukesi kilesid, ning neil on tänapäevastes tootmisprotsessides kriitiline roll.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 12. juuli 2024