La ekipaĵo estas ekipita per magnetrona ŝpruc-tegaĵa sistemo + kontraŭfingrospura tegaĵa sistemo + SPEEDFLO-fermitcirkvita kontrolo.
La ekipaĵo uzas mezfrekvencan magnetronan ŝpructeknologion kaj kontraŭfingrospurteknologion. Ĝi estas nano-tegaĵa ekipaĵo speciale desegnita por precizaj laserŝablonoj. Post kiam la ŝablono estas kovrita per nano-tegaĵo, tavolo de ultramalaltfrikcia koeficiento povas esti formita sur ĝia surfaco, kiu ne estos gratita dum presado de lutaĵpasto kaj ne facile algluiĝos al lutaĵpasto, por efike protekti la surfacon de la laserŝablono kaj plibonigi ĝian servodaŭron kaj bonan precizecon.
La ekipaĵo taŭgas por produktoj el neoksidebla ŝtalo kaj kristalvitro. Ĝi povas deponi diversajn oksidojn kaj simplajn metalojn, kaj prepari heligigajn kolorajn filmojn, gradientajn kolorajn filmojn kaj aliajn dielektrikajn filmojn.
| ZCL0608 | ZCL1009 | ZCL1112 | ZCL1312 |
| Φ600*H800(mm) | φ1000*H900(mm) | φ1100*H1250(mm) | φ1300*H1250(mm) |
| ZCL1612 | ZCL1912 | ZCL1914 | ZCL1422 |
| φ1600*H1250(mm) | φ1900*H1250(mm) | φ1900*H1400(mm) | φ1400*H2200(mm) |