Vakua enlinia tegmaŝino estas progresinta tipo de tegaĵsistemo desegnita por kontinuaj, alt-trairaj produktadmedioj. Male al aro-tegmaŝinoj, kiuj prilaboras substratojn en diskretaj grupoj, enliniaj tegmaŝinoj permesas al substratoj moviĝi kontinue tra diversaj stadioj de la tegaĵprocezo. Jen detala rigardo pri kiel vakua enlinia tegmaŝino funkcias kaj ĝiaj aplikoj:
Ŝlosilaj Komponantoj kaj Procezo
Ŝarĝi/Malŝarĝi Staciojn: Substratoj estas ŝarĝitaj en la sistemon komence kaj malŝarĝitaj fine. Ĉi tio povas esti aŭtomatigita por pliigi la trafluon.
Transportsistemo: Transportilo aŭ simila mekanismo movas la substratojn tra la malsamaj stadioj de la tegaĵprocezo.
Vakuaj Ĉambroj: La tegmaŝino konsistas el pluraj konektitaj vakuaj ĉambroj, ĉiu dediĉita al specifa parto de la tegprocezo. Ĉi tiuj ĉambroj estas tenataj sub alta vakuo por certigi puran kaj kontrolitan deponadon.
Antaŭtraktaj Stacioj: Substratoj povas pasi tra purigaj aŭ gratvaporaj stacioj por forigi poluaĵojn kaj prepari la surfacon por tegaĵo.
Ŝprucstacioj aŭ vaporiĝstacioj: Ĉi tiuj stacioj estas kie la efektiva tegaĵo okazas. Ŝprucceloj aŭ vaporiĝfontoj estas uzataj por deponi la deziratan materialon sur la substratojn.
Malvarmigaj Stacioj: Post tegaĵo, substratoj eble bezonos esti malvarmigitaj por certigi la stabilecon kaj adheron de la maldika filmo.
Inspektado kaj Kvalitkontrolo: Integraj sistemoj por realtempa monitorado kaj inspektado certigas, ke la tegaĵoj plenumas la postulitajn specifojn.
Avantaĝoj
Alta Trafluo: Kontinua prilaborado ebligas rapidan tegaĵon de grandaj kvantoj da substratoj.
Unuformaj Tegaĵoj: Preciza kontrolo de la deponado rezultigas unuformajn kaj altkvalitajn maldikajn filmojn.
Skalebleco: Taŭga por grandskala produktado, igante ĝin ideala por industriaj aplikoj.
Ĉiuflankeco: Povas esti uzata por deponi vastan gamon da materialoj, inkluzive de metaloj, oksidoj kaj nitridoj.
Aplikoj
Fabrikado de duonkonduktaĵoj: Uzata por deponi diversajn tavolojn en la produktado de integraj cirkvitoj.
Fotovoltaecaj ĉeloj: Tegaĵo de materialoj por sunpaneloj por plibonigi ilian efikecon.
Optikaj tegaĵoj: Produktado de kontraŭreflektaj tegaĵoj, speguloj kaj lensoj.
Pakado: Apliki barierajn tegaĵojn al flekseblaj pakmaterialoj.
Ekrana Teknologio: Tegaĵo de substratoj uzataj en LCD, OLED kaj aliaj specoj de ekranoj.
Vakuaj enliniaj tegaĵoj estas esencaj por industrioj, kiuj postulas altkvalitajn maldikajn filmojn kun koheraj ecoj, kaj ili ludas kritikan rolon en modernaj fabrikadaj procezoj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 12-Jul-2024