Vakuum daxili örtücü davamlı, yüksək məhsuldarlıqlı istehsal mühitləri üçün nəzərdə tutulmuş qabaqcıl tipli örtük sistemidir. Substratları diskret qruplarda emal edən toplu örtüklərdən fərqli olaraq, daxili örtüklər substratların örtük prosesinin müxtəlif mərhələlərində davamlı olaraq hərəkət etməsinə imkan verir. Vakuum daxili örtüyünün necə işlədiyinə və tətbiqlərinə ətraflı nəzər salaq:
Əsas Komponentlər və Proses
Yükləmə/Boşaltma Stansiyaları: Substratlar sistemə əvvəlində yüklənir və sonunda boşaldılır. Ötürmə qabiliyyətini artırmaq üçün bu avtomatlaşdırıla bilər.
Nəqliyyat sistemi: Konveyer və ya oxşar mexanizm, örtük prosesinin müxtəlif mərhələlərində substratları hərəkət etdirir.
Vakuum kameraları: Kaplayıcı, hər biri örtük prosesinin müəyyən hissəsinə həsr olunmuş bir neçə əlaqəli vakuum kamerasından ibarətdir. Bu kameralar təmiz və idarə olunan çökmə təmin etmək üçün yüksək vakuum altında saxlanılır.
Əvvəlcədən Təmizləmə Stansiyaları: Çirkləndiriciləri təmizləmək və səthi örtük üçün hazırlamaq üçün substratlar təmizləmə və ya aşındırma stansiyalarından keçə bilər.
Püskürtmə və ya buxarlanma stansiyaları: Bu stansiyalar faktiki örtüyün baş verdiyi yerdir. İstənilən materialı substratlara yerləşdirmək üçün püskürtmə hədəfləri və ya buxarlanma mənbələri istifadə olunur.
Soyuducu Stansiyalar: Kaplamadan sonra, nazik təbəqənin sabitliyini və yapışmasını təmin etmək üçün substratların soyudulması tələb oluna bilər.
Yoxlama və Keyfiyyətə Nəzarət: Real vaxt rejimində monitorinq və yoxlama üçün inteqrasiya olunmuş sistemlər örtüklərin tələb olunan spesifikasiyalara cavab verməsini təmin edir.
Üstünlüklər
Yüksək məhsuldarlıq: Davamlı emal böyük miqdarda substratın sürətlə örtülməsinə imkan verir.
Uniform örtüklər: Çöküntü prosesinə dəqiq nəzarət vahid və yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrə səbəb olur.
Ölçeklenebilirlik: Geniş miqyaslı istehsal üçün uyğundur, sənaye tətbiqləri üçün idealdır.
Çox yönlülük: Metallar, oksidlər və nitridlər də daxil olmaqla geniş çeşidli materialların yerləşdirilməsi üçün istifadə edilə bilər.
Proqramlar
Yarımkeçiricilərin istehsalı: İnteqral sxemlərin istehsalında müxtəlif təbəqələrin yerləşdirilməsi üçün istifadə olunur.
Fotovoltaik Hüceyrələr: Effektivliyini artırmaq üçün günəş panelləri üçün materialların örtülməsi.
Optik örtüklər: əks etdirməyə qarşı örtüklərin, güzgülərin və linzaların istehsalı.
Qablaşdırma: Çevik qablaşdırma materiallarına maneə örtüklərinin tətbiqi.
Ekran Texnologiyası: LCD, OLED və digər növ displeylərdə istifadə olunan alt təbəqələrin örtülməsi.
Vakuum daxili örtüklər ardıcıl xassələrə malik yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələr tələb edən sənayelər üçün vacibdir və müasir istehsal proseslərində mühüm rol oynayır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 12 iyul 2024-cü il