Nasos ulgamyndaky vakuum örtük maşynynyň aşakdaky esasy talaplary bar:
(1) Örtük vakuum ulgamy ýeterlik uly nasos tizligine eýe bolmalydyr, bu örtük prosesinde diňe substratdan we bugarýan materiallardan we wakuum kamerasyndaky böleklerden çalt çykarylmaly däl, tüýkürmek we ion örtügi prosesinden çykýan gazlary çalt çykaryp bilýär.
Tüýkürmek we ion örtmek prosesinde gazyň syzmagy hem çalt çykarylyp bilner. Örtük maşynynyň öndürijiligini ýokarlandyrmak üçin çalt işlemegi başarmaly.
(2) Örtük maşyny nasos ulgamynyň iň soňky vakuumy dürli filmleriň talaplaryna görä üýtgeşik bolmaly. 7-9-njy tablisa dürli filmleriň örtük prosesi bilen talap edilýän wakuum derejesiniň diapazonydyr.
. Filmiň hil talaplary örtük prosesinde has ýokarydyr, ýagsyz nasos ulgamyny ulanmak iň gowusydyr. Nebit diffuziýa nasos nasos ulgamyny ulananyňyzda, nasos girelgesiniň adsorbsiýa duzagyna, sowuk duzaga we beýleki böleklere salynmaly we wakuum ulgamynyň iň ýokary nasos tizligini saklamagy üçin komponentleriň geçirijiligine üns bermelidir.
(4) Wakuum örtük kamerasynyň we nasos ulgamynyň syzyş tizligi kiçi bolmaly, ýagny yz gazy syzsa-da, filmiň hiline täsir eder. Şonuň üçin ulgamyň möhürlenmegini üpjün etmek üçin ulgamyň umumy syzyş tizligi rugsat edilýän çäk bilen çäklenmeli.
(5) Wakuum ulgamynyň işleýşi, ulanylyşy we tehniki hyzmaty amatly, durnukly we ygtybarly öndürijilikli bolmaly.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 14-2023-nji dekabry