Tüýdük çökdüriji maşynlar, tüýdük ulgamlary diýlip hem atlandyrylýar, inçe film çökdürmek prosesinde ulanylýan ýokary hünärli enjamlar. Maksatly materialy ýokary energiýa ionlary ýa-da atomlar bilen bombalamagy öz içine alýan tüýkürmek prinsipinde işleýär. Bu proses maksatly materialdan atomlaryň akymyny çykarýar, soňra inçe film döretmek üçin substrata goýulýar.
Highokary arassalygy, ajaýyp birmeňzeşligi we dolandyrylýan galyňlygy bolan filmleri öndürmek ukyby sebäpli tüýdük çökdüriji maşynlaryň ulanylyşy ep-esli giňeldi. Şeýle filmleriň mikroelektronika, optika, gün öýjükleri, magnit saklaýjy serişdeleri we beýleki ugurlarda giň ulanylyşy bar.
Tüýdük çökdüriji maşynlar pudagynda bolup geçen soňky ösüşler, işlemegiň we häsiýetleriň gowulaşmagyna getirdi. Belli bir öňe gidişlik, ýokary depozit derejesini we filmiň hilini ýokarlandyrmaga mümkinçilik berýän magnetron tüýdük tehnologiýasynyň goşulmagydyr. Bu täzelik metallar, metal oksidleri we ýarymgeçirijiler ýaly dürli materiallary ýerleşdirmäge mümkinçilik berýär.
Mundan başga-da, tüýdük çökdüriji maşynlar, gaz basyşy, güýç dykyzlygy, maksat düzümi we substratyň temperaturasy ýaly çöketlik parametrlerine takyk gözegçilik etmegi üpjün edýän ösen dolandyryş ulgamlary bilen enjamlaşdyrylandyr. Bu öňegidişlikler filmiň öndürijiligini gowulandyrýar we aýratyn programmalara laýyk häsiýetleri bolan filmleri öndürmäge mümkinçilik berýär.
Mundan başga-da, nanotehnologiýa pudagynda üznüksiz ösüş, tüýdük çökdüriji maşynlardan hem uly peýda görýär. Gözlegçiler bu maşynlary aşa ýokary takyklyk bilen nanostruktura we nanostruktura örtükleri döretmek üçin ulanýarlar. Sputter çöketlik maşynlary çylşyrymly şekillere we uly ýerlere inçe filmleri goýmaga ukyply, olary dürli nanoskale goşundylary üçin ideal edýär.
Recentlyakynda belli gözleg institutynyň alymlar toparynyň görlüp-eşidilmedik takyklyk bilen inçe filmleri goýup bilýän täze tüýdük çökdüriji maşyny üstünlikli öndürendigi habar berildi. Bu öňdebaryjy enjam, iň ýokary film birmeňzeşligini we galyňlygy dolandyrmagy gazanmak üçin iň häzirki zaman dolandyryş algoritmlerini we täze magnetron dizaýnyny birleşdirýär. Gözleg topary, enjamynyň indiki nesil elektron enjamlarynyň we energiýa saklaýyş ulgamlarynyň önümçilik prosesine öwrüler diýip çaklaýar.
Gowulaşan işleýşi bilen täze materiallary ösdürmek ylmy jemgyýetiň yzygiderli gözlegidir. Tüýdük çökdüriji maşynlar, bu gözlegde aýrylmaz aýratynlyklary bolan täze materiallaryň tapylmagyny we sintezlenmegini aňsatlaşdyrýan gural boldy. Gözlegçiler bu maşynlary filmiň ösüş mehanizmlerini öwrenmek, aýratyn aýratynlyklary bolan materiallary öwrenmek we tehnologiýanyň geljegini kesgitläp biljek täze materiallary tapmak üçin ulanýarlar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 30-2023-nji oktýabr