CVD tehnologiýasy himiki reaksiýa esaslanýar. Reaktiwleriň gazly we önümleriň biriniň berk ýagdaýynda bolan reaksiýa adatça CVD reaksiýasy diýilýär, şonuň üçin himiki reaksiýa ulgamy aşakdaky üç şerti ýerine ýetirmeli.
(1) Çökdürme temperaturasynda reaktiwler ýeterlik ýokary bug basyşyna eýe bolmalydyr. Reaktiwleriň hemmesi otag temperaturasynda gazly bolsa, depozit enjamy gaty ýönekeý, eger reaktiwler otag temperaturasynda üýtgäp durýan bolsa, üýtgäp durmak üçin gyzdyrylmaly we kämahal reaksiýa kamerasyna getirmek üçin daşaýjy gazy ulanmaly bolýar.
(2) Reaksiýa önümlerinden, gaty ýagdaýdaky islenýän goýumdan başga ähli maddalar gaz ýagdaýynda bolmaly.
(3) Goýlan filmiň bug basyşy, depozit reaksiýasynyň belli bir depozit temperaturasy bolan substrata berk birikdirilmegini üpjün etmek üçin ýeterlik derejede pes bolmalydyr. Çökgünlik temperaturasynda substrat materialyň bug basyşy hem ýeterlik derejede pes bolmalydyr.
Depolýasiýa reaktiwleri aşakdaky üç esasy ýagdaýa bölünýär.
(1) Gazly ýagdaý. Himiki buglaryň çökmegine iň amatly we akym tizligi aňsatlaşdyrylýan metan, kömürturşy gazy, ammiak, hlor we ş.m. ýaly otag temperaturasynda gazly çeşme materiallary.
(2) Suwuk. Otag temperaturasynda ýa-da birneme ýokary temperaturada käbir reaksiýa maddalary, ýokary bug basyşy bar, meselem, TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3 we ş.m., gazyň (H2, N2, Ar) suwuklygyň üstünden ýa-da köpürjigiň içindäki suwuklygy daşamak üçin ulanylyp bilner, soň bolsa maddanyň doýgun buglaryny studiýa alyp biler.
(3) Gaty ýagdaý. Degişli gaz ýa-da suwuk çeşme ýok bolsa, diňe gaty berk iýmit zapaslary ulanylyp bilner. Käbir elementler ýa-da ýüzlerçe derejedäki birleşmeler, ep-esli bug basyşyna eýe, meselem, TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 we ş.m., film gatlagyna goýlan daşaýjy gazy ulanyp, studiýa geçirilip bilner.
Belli bir gaz we çeşme material gaz-gaty ýa-da gaz-suwuk reaksiýa arkaly has köp ýaýran ýagdaý görnüşi, studiýa eltilende degişli gaz komponentleriniň emele gelmegi. Mysal üçin, HCl gazy we metal Ga, GaCl görnüşinde studiýa daşalýan gazly GaCl komponentini emele getirýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Noýabr-16-2023