เครื่องเคลือบสูญญากาศบนระบบปั๊มมีข้อกำหนดพื้นฐานดังต่อไปนี้:
(1) ระบบสูญญากาศเคลือบควรมีอัตราการสูบที่เพียงพอ ซึ่งไม่เพียงแต่จะต้องสูบก๊าซที่ปล่อยออกมาจากสารตั้งต้น วัสดุระเหย และส่วนประกอบในห้องสูญญากาศระหว่างกระบวนการเคลือบออกไปอย่างรวดเร็วเท่านั้น แต่จะต้องสามารถสูบก๊าซที่ปล่อยออกมาจากกระบวนการสปัตเตอร์และเคลือบไอออน รวมถึงการรั่วไหลของก๊าซจากกระบวนการสปัตเตอร์และเคลือบไอออนและระบบออกไปได้อย่างรวดเร็วอีกด้วย
นอกจากนี้ ยังสามารถสกัดการรั่วไหลของก๊าซระหว่างกระบวนการพ่นและการเคลือบไอออนได้อย่างรวดเร็ว เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตของเครื่องเคลือบ ควรสามารถทำงานได้อย่างรวดเร็ว
(2) ระดับสูญญากาศสูงสุดของระบบปั๊มของเครื่องเคลือบควรแตกต่างกันตามความต้องการของฟิล์มแต่ละชนิด ตาราง 7-9 เป็นช่วงระดับสูญญากาศที่จำเป็นสำหรับกระบวนการเคลือบฟิล์มแต่ละชนิด
(3) ในปั๊มกระจายน้ำมันเนื่องจากระบบปั๊มหลักจำเป็นต้องใช้ปั๊มที่มีอัตราการส่งน้ำมันกลับน้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ เนื่องจากไอของน้ำมันที่ส่งกลับจะทำให้พื้นผิวของชิ้นงานปนเปื้อนและทำให้คุณภาพของฟิล์มลดลง ในข้อกำหนดด้านคุณภาพของฟิล์มนั้นสูงเป็นพิเศษในกระบวนการเคลือบ จึงควรใช้ระบบปั๊มปลอดน้ำมัน เมื่อใช้ระบบปั๊มกระจายน้ำมัน ควรตั้งค่ากับดักการดูดซับทางเข้าปั๊ม กับดักความเย็น และส่วนประกอบอื่นๆ และควรใส่ใจกับสภาพนำไฟฟ้าของส่วนประกอบเพื่อให้แน่ใจว่าระบบสูญญากาศจะรักษาความเร็วในการสูบสูงสุด
(4) อัตราการรั่วไหลของห้องเคลือบสูญญากาศและระบบปั๊มควรมีขนาดเล็ก กล่าวคือ แม้ว่าจะเป็นเพียงการรั่วไหลของก๊าซเล็กน้อย ก็จะส่งผลกระทบต่อคุณภาพของฟิล์ม ดังนั้น เพื่อให้แน่ใจว่าระบบจะมีประสิทธิภาพในการปิดผนึก อัตราการรั่วไหลทั้งหมดของระบบจะต้องจำกัดให้อยู่ในช่วงที่อนุญาต
(5) การทำงาน การใช้ และการบำรุงรักษาระบบสุญญากาศควรมีประสิทธิภาพที่สะดวก มีเสถียรภาพ และเชื่อถือได้
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว
เวลาโพสต์: 14-12-2023