3. อิทธิพลของอุณหภูมิพื้นผิว
อุณหภูมิของสารตั้งต้นเป็นเงื่อนไขสำคัญประการหนึ่งสำหรับการเจริญเติบโตของเมมเบรน โดยให้พลังงานเพิ่มเติมแก่อะตอมหรือโมเลกุลของเมมเบรน และส่งผลต่อโครงสร้างของเมมเบรน ค่าสัมประสิทธิ์การเกาะกลุ่ม ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัว และความหนาแน่นของการรวมตัวเป็นหลัก การสะท้อนในระดับมหภาคในดัชนีหักเหของฟิล์ม การกระเจิง ความเครียด การยึดเกาะ ความแข็ง และความไม่ละลายน้ำจะแตกต่างกันอย่างมากเนื่องจากอุณหภูมิของสารตั้งต้นที่แตกต่างกัน
(1) สารตั้งต้นเย็น: โดยทั่วไปใช้สำหรับการระเหยของฟิล์มโลหะ
(2) ข้อดีของอุณหภูมิสูง:
① โมเลกุลแก๊สที่เหลือที่ดูดซับอยู่บนพื้นผิวของสารตั้งต้นจะถูกกำจัดออกเพื่อเพิ่มแรงยึดเกาะระหว่างสารตั้งต้นและโมเลกุลที่สะสม
(2) ส่งเสริมการเปลี่ยนแปลงของการดูดซับทางกายภาพเป็นการดูดซับทางเคมีของชั้นฟิล์ม เพิ่มการโต้ตอบระหว่างโมเลกุล ทำให้ฟิล์มแน่น เพิ่มการยึดเกาะ และปรับปรุงความแข็งแรงเชิงกล
③ ลดความแตกต่างระหว่างอุณหภูมิการตกผลึกใหม่ของโมเลกุลไอและอุณหภูมิพื้นผิว ปรับปรุงความหนาแน่นของชั้นฟิล์ม เพิ่มความแข็งของชั้นฟิล์มเพื่อขจัดความเครียดภายใน
(3) ข้อเสียของอุณหภูมิที่สูงเกินไป: โครงสร้างของชั้นฟิล์มเปลี่ยนไปหรือวัสดุฟิล์มสลายตัว
4. ผลกระทบจากการโจมตีด้วยไอออน
การทิ้งระเบิดหลังการชุบ: ปรับปรุงความหนาแน่นของการรวมตัวของฟิล์ม ปรับปรุงปฏิกิริยาเคมี เพิ่มดัชนีการหักเหของฟิล์มออกไซด์ ความแข็งแรงเชิงกล ความต้านทาน และการยึดเกาะ เพิ่มเกณฑ์ความเสียหายจากแสง
5. อิทธิพลของวัสดุพื้นผิว
(1) ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวที่แตกต่างกันของวัสดุพื้นผิวจะนำไปสู่ความเครียดทางความร้อนของฟิล์มที่แตกต่างกัน
(2) ความสัมพันธ์ทางเคมีที่แตกต่างกันจะส่งผลต่อการยึดเกาะและความแน่นของฟิล์ม
(3) ความหยาบและข้อบกพร่องของพื้นผิวเป็นแหล่งที่มาหลักของการกระเจิงของฟิล์มบาง
6. ผลกระทบของการทำความสะอาดพื้นผิว
คราบสิ่งสกปรกและผงซักฟอกที่ตกค้างอยู่บนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์จะส่งผลให้: (1) ฟิล์มมีการยึดเกาะกับวัสดุพิมพ์ไม่ดี ② การดูดซับการกระเจิงเพิ่มขึ้น ความสามารถในการป้องกันเลเซอร์ลดลง ③ ประสิทธิภาพการส่งผ่านแสงไม่ดี
องค์ประกอบทางเคมี (ประเภทของความบริสุทธิ์และสิ่งเจือปน) สถานะทางกายภาพ (ผงหรือบล็อก) และการเตรียมเบื้องต้น (การเผาผนึกสูญญากาศหรือการตีขึ้นรูป) ของวัสดุฟิล์มจะส่งผลต่อโครงสร้างและประสิทธิภาพของฟิล์ม
8. อิทธิพลของวิธีการระเหย
พลังงานจลน์เริ่มต้นที่ได้จากวิธีการระเหยที่แตกต่างกันเพื่อทำให้โมเลกุลและอะตอมระเหยนั้นแตกต่างกันมาก ส่งผลให้โครงสร้างของฟิล์มมีความแตกต่างกันอย่างมาก ซึ่งแสดงออกมาในรูปของความแตกต่างของดัชนีหักเห การกระเจิง และการยึดเกาะ
9. อิทธิพลของมุมตกกระทบของไอระเหย
มุมตกกระทบของไอ หมายถึง มุมระหว่างทิศทางการแผ่รังสีของโมเลกุลไอกับพื้นผิวปกติของสารตั้งต้นที่เคลือบ ซึ่งส่งผลต่อลักษณะการเจริญเติบโตและความหนาแน่นของการรวมตัวของฟิล์ม และมีอิทธิพลอย่างมากต่อดัชนีการหักเหของแสงและลักษณะการกระเจิงของฟิล์ม เพื่อให้ได้ฟิล์มคุณภาพสูง จำเป็นต้องควบคุมมุมการแผ่รังสีของโมเลกุลไอของวัสดุฟิล์มโดยมนุษย์ ซึ่งโดยทั่วไปควรจำกัดไว้ที่ 30°
10. ผลของการอบ
การอบฟิล์มด้วยความร้อนในบรรยากาศเอื้อต่อการระบายความเครียดและการเคลื่อนย้ายความร้อนของโมเลกุลก๊าซในบรรยากาศและโมเลกุลของฟิล์ม และสามารถทำให้โครงสร้างของฟิล์มรวมตัวกันใหม่ จึงมีอิทธิพลอย่างมากต่อดัชนีการหักเหของแสง ความเครียด และความแข็งของฟิล์ม
เวลาโพสต์ : 29 มี.ค. 2567