Khatelopeleng e ntseng e hola ea theknoloji, mouoane oa mocheso o fetohile mokhoa oa bohlokoa liindastering tse fapaneng. Ts'ebetso ena e sebelisoa hangata mafapheng a joalo ka mahlale a elektroniki le lisebelisoa ho beha lifilimi tse tšesaane ho li-substrates tse fapaneng. Ka poso ena ea blog, re tla batlisisa melemo le mathata a moea oa mocheso, re hlakise lintlha tsa eona tsa bohlokoa, le ho fana ka tlhahlobo e felletseng ea melemo le mathata a eona.
Melemo ea mouoane oa mocheso:
1. Ho feto-fetoha ha maemo: O mong oa melemo ea bohlokoa ea mouoane oa mocheso ke ho feto-fetoha ha oona tabeng ea ho khetha thepa. Ts'ebetso e ka kenya lisebelisoa tse fapaneng tse fapaneng, ho kenyeletsoa tšepe, li-alloys, esita le lintho tse phelang. Ka hona, e fumana lits'ebetso liindastering tse fapaneng ho kenyelletsa tlhahiso ea semiconductor le likoaelo tsa optical.
2. Ho boloka litšenyehelo: Mouoane oa mocheso o boloka chelete e ngata, haholo-holo ha o bapisoa le mekhoa e meng ea ho beha lintho tse kang sputtering kapa chemical vapor deposition (CVD). Ho ba bonolo le bonolo ba ho kenya ts'ebetsong ho thusa ho fokotsa litšenyehelo tsa thepa, ho etsa hore e be khetho e khahlehang bakeng sa merero e nyenyane ea tlhahiso kapa lipatlisiso.
3. Sekhahla se phahameng sa deposition: Molemo o mong oa moea oa mouoane oa mocheso ke hore o etsa hore ho be le litekanyetso tse phahameng tsa deposition. Sena se lumella bahlahisi ho koahela libaka tse kholo ka nako e batlang e le khutšoanyane, ho eketsa tlhahiso le katleho.
Mathata a ho fetoha mouoane oa mocheso:
1. Botenya bo fokolang: Ho finyella kabo e lekanang ea botenya ba filimi ka mouoane oa mocheso ke phephetso. Ts'ebetso ea ho bea e itšetlehile ka condensation ea lintho tse vaporized holim'a substrate; leha ho le joalo, ka lebaka la likhahla tsa mocheso le lintlha tse ling, kabo ea botenya bo sa lekanang holim'a substrate e ka etsahala. Khaello ena e fokotsa ho sebetsa ha eona lits'ebetsong moo taolo e nepahetseng ea botenya e leng bohlokoa.
2. Boleng bo fokolang ba filimi: Le hoja mouoane oa mocheso o loketse lits'ebetsong tse ngata, e ka 'na ea se ke ea tšoanela ho hlahisa lifilimi tsa boleng bo phahameng tse nang le litšobotsi tse itseng. Ts'ebetso ena e ka fella ka porosity e phahameng ea filimi kapa ho hloka ho khomarela, e ka amang ts'ebetso ea eona liindastering tse itseng, tse kang microelectronics, moo boleng ba filimi bo leng bohlokoa.
3. Mocheso o phahameng oa substrate: Mouoane oa mocheso o hloka ho futhumatsoa ha substrate ho khothalletsa ho khomarela lintho tse bonahalang. Leha ho le joalo, tlhokahalo ena e ka ba bothata ha u sebelisa li-substrates tse sa ameheng mocheso kapa lisebelisoa tse bobebe. Khatello ea mocheso, karabelo e sa batleheng, esita le tšenyo ea substrate e ka etsahala, e fokotsa mefuta e mengata ea ts'ebeliso ea mokhoa ona oa deposition.
Ka kakaretso, mouoane oa mocheso o na le melemo le bofokoli tse etsang hore e be khetho e sebetsang bakeng sa liindasteri le lits'ebetso tse itseng. Ho feto-fetoha ha eona, ho sebetsa hantle ha litšenyehelo, le sekhahla se phahameng sa deposition li fana ka melemo e hlakileng, empa mefokolo e kang botenya bo bobe, boleng bo fokolang ba filimi, le litlhoko tsa mocheso oa substrate li tlameha ho nkoa. Ho utloisisa melemo le mathata ana ho lumella bahlahisi le bafuputsi ho sebelisa monyetla oa ho fetoha mouoane oa mocheso ha ba ntse ba fokotsa mefokolo ea bona. Ha thekenoloji e ntse e tsoela pele, hoa hlokahala ho lula u tseba lintlafatso tsa morao-rao le mekhoa e meng e sutumelletsang meeli ea ho beha lifilimi tse tšesaane.
Nako ea poso: Aug-14-2023
