Ha tlhahiso ea sejoale-joale e ntse e tsoela pele ho batla ho nepahala le ts'ebetso e phahameng ho tsoa lihlahisoa, theknoloji ea ho roala ka vacuum e se e sebelisoa haholo masimong a fapaneng ka lebaka la bokhoni ba eona ba ho phekola bokaholimo. Leha ho le joalo, ts'ebetso ea ho roala ka boeona hangata e thibeloa ke bohloeki ba bokaholimo ba substrate le ho khomarela ha roala. Moelelong ona, theknoloji ea ho hloekisa plasma, e le ts'ebetso e sebetsang ea kalafo ea bokaholimo, e hlahile butle-butle e le mokhoa oa bohlokoa oa ho kopanya le roala ka vacuum. Tšusumetso ea tšebelisano-'moho ea lits'ebetso tsena tse peli e ka ntlafatsa sephetho sa roala haholo, ea netefatsa lera la bokaholimo la boleng bo holimo.
Ho Koahela ka Vacuum ke Eng?
Seaparo sa lephaka ke ts'ebetso eo ho eona tšepe, liseramike, kapa thepa e 'ngoe e sebetsang e kenngoang holim'a substrate tlas'a tikoloho e phahameng ea vacuum ka mekhoa e kang mouoane kapa ho qhalana ho etsa filimi e tšesaane. Mekhoa e tloaelehileng ea ho koahela vacuum e kenyelletsa Physical Vapor Deposition (PVD) le Chemical Vapor Deposition (CVD). Ts'ebetso ena e sebelisoa haholo liindastering tse kang tsa elektroniki, optics, likoloi le lisebelisoa tsa lapeng ho ntlafatsa litšobotsi tsa bokaholimo ba thepa, joalo ka ho ntlafatsa conductivity, ho hanyetsa mafome, ho hanyetsa ho tsofala, le botle ba botle.
Selelekela sa Theknoloji ea ho Hloekisa Plasma
Ho hlwekisa plasma ke mokhoa o sebedisang dibopeho tse matla tsa plasma ho hlwekisa bokahodimo ba dintho. Ka dimolek'hule tse kgahlehang tsa kgase ho hlahisa plasma, dintho tse phelang, di-oxide, kapa ditshila tse hodima bokahodimo di a bola le ho tloswa. Ho hlwekisa plasma ho sebetsa hantle haholo, ho na le botsoalle tikolohong, mme ho nepahetse, e leng se etsang hore ho sebetse haholo kalafong ya bokahodimo ya dikarolo tsa elektroniki, dikarolo tsa dikoloi, disebediswa tsa bongaka le tse ding. Tikolohong ya vacuum, ho hlwekisa plasma ho fana ka bokahodimo bo hlwekileng le bo tshwanang haholoanyane bakeng sa ditshebetso tse latelang tsa ho kwahela vacuum, ka hona ho ntlafatsa kgomarelo le boleng ba lera la ho kwahela.
Motsoako oa ho Koahela ka Vacuum le ho Hloekisa Plasma
Ho Ntlafatsa Khomarelo ea Sebaka se ka Tlase
Mokgweng wa ho kwahela ka vacuum, ho kgomarela ha lera la filimi ke e nngwe ya dintlha tsa bohlokwa tse etsang qeto ya boleng ba ho kwahela. Ditshila tse kang mealo ya oxidation, mafura le lerōle hodima bokahodimo ba substrate di ka ama ho kgomarela ha lera la filimi ka ho toba, esita le ho baka ho kgaohana. Mekhoa ya setso ya ho hlwekisa, jwalo ka ho hlwekisa di-solvent le ho hlwekisa ka ultrasound, hangata e hloleha ho tlosa ditshila tse ntle ka ho feletseng, e leng se fellang ka ho kgomarela ho fokolang. Ho hlwekisa ka plasma, ka ketso ya plasma e nang le matla a mangata, ho tlosa ditshila tse ntle le ditshila hodima bokahodimo ba substrate ka katleho, ka hona ho ntlafatsa kgomarela le ho tshwana ha lera la ho kwahela.
Ho Ntlafatsa Tšoanang le Botebo ba Filimi
Ho hlwekisa plasma ha ho tlose ditshila feela empa hape ho fetola bokaholimo ba substrate ka micro-. Mohlala, kalafo ya plasma e ka theha dihlopha tse sebetsang hodima bokaholimo, e eketsa matla a bokaholimo mme e kgothaletsa kamano e betere pakeng tsa filimi le substrate. Sena se netefatsa ho bewa ha filimi ka tsela e tshwanang nakong ya tshebetso ya ho kwahela ka vacuum, ho ntlafatsa bongata le botsitso ba lera la filimi, haholoholo ditshebedisong tse batlwang haholo jwalo ka difilimi tsa optical kapa dikobo tse thata. Ho hlwekisa plasma ho bapala karolo ya bohlokwa haholo ditshebedisong tsena.
Ho Ntlafatsa Bokgoni ba Tlhahiso le Boleng ba Sehlahiswa
Tlhahisong e kgolo, motswako wa ho kwahela ka vacuum le ho hlwekisa ka plasma o ka ntlafatsa haholo bokgoni ba tlhahiso le boleng ba sehlahiswa. Ho hlwekisa ka plasma ho phethela ho hlwekisa bokahodimo kapele, ho fana ka maemo a loketseng bokahodimo bakeng sa ho kwahela ka vacuum ho latelang. Ha ho bapiswa le mekgwa ya setso ya ho hlwekisa, ho hlwekisa ka plasma ho potlakile mme ho kgona ho sebetsana le dikarolo tse rarahaneng le tse nepahetseng, tse kang di-curve tse rarahaneng le dikarolo tse nyane. Sena se fokotsa ho fetofetoha ha boleng le sekgahla sa ho lokisa dintho nakong ya tlhahiso.
Melemo ea Tikoloho le Litšenyehelo
Ho hlwekisa plasma ha ho hloke tshebediso ya dikhemikhale tse qhibilihisang kapa metsi a mangata, ho qoba ditshila le maro a ditshila a ka hlahiswang ke mekgwa ya setso ya ho hlwekisa. Kaha ha e kenyeletse dikhemikhale tse kotsi, ho hlwekisa plasma ho na le kamano e ntle le tikoloho. Ho feta moo, bohloeki ba bokahodimo ba substrate bo ama ka ho toba boleng ba lera la filimi ka hara vacuum covering. Ho hlwekisa plasma ho fokotsa diphoso tsa filimi ka katleho, ho fokotsa ho sebetsa botjha le sekgahla sa ditshila ka lebaka la lera la filimi le sa tsamaellaneng le yona, ka hona ho boloka ditjeo bakeng sa dikhamphani.
Mehlala ea Ts'ebeliso
Indasteri ea Elektroniki: Tlhahisong ea li-semiconductor le likarolo tsa optoelectronic, ho koahela ka vacuum le ho hloekisa ka plasma hangata li sebelisoa hammoho. Ho hloekisa ka plasma ho tlosa litšila tse nyane tsa tlhaho, ho netefatsa bokaholimo bo hloekileng haholo bakeng sa likarolo tsa elektroniki, ho fana ka ho khomarela ho loketseng bakeng sa ts'ebetso ea tšepe le ea ho koahela e latelang.
Indasteri ea Likoloi: Ho koaheloeng ha likarolo tsa likoloi, tse kang liipone, matšoao le likarolo tsa kahare, ho hloekisoa ha plasma ho ntlafatsa botsitso le ho tšoarella ha koahelo ha ka nako e ts'oanang ho fokotsa mengoapo le lipululana kamora ts'ebetso ea ho koaheloa.
Indasteri ea Optics: Ho koahelong ha lense ea optical e nepahetseng haholo, motsoako oa ho hloekisa plasma le koahelo ea vacuum o thibela ka katleho liphoso tse kang lipululana le ho petsoha, ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso ea optical.
Qetello
Motsoako oa ho koahela ka vacuum le ho hloekisa plasma o fana ka tharollo e ncha bakeng sa mahlale a sejoale-joale a kalafo ea bokaholimo. Ka kalafo e sebetsang hantle ea pele ho bokaholimo e fanoang ke ho hloekisa plasma, ho khomarela, ho tšoana le ho ba le botenya ba lera la ho koahela ho ka ntlafatsoa haholo, ka hona ho ntlafatsa boleng ba ho koahela le ts'ebetso e akaretsang ea lihlahisoa. Nakong e tlang, ka tsoelo-pele e tsoelang pele ea theknoloji, motsoako oa ho koahela ka vacuum le ho hloekisa plasma o tla bona lits'ebetso tse pharaletseng masimong a mangata, e be theknoloji ea bohlokoa ea ho ntlafatsa boleng ba sehlahisoa, ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso le ho ntlafatsa tlholisano ea 'maraka.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum moetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Phupu-08-2025