Doorka Muhiimka ah ee Dahaarka Filimada Khafiifka ah ee FaakuumkaDeegaannada Hawada Sare ee Xad-dhaafka ah
Injineernimada hawada sare, waxqabadka agabka ayaa si toos ah u go'aamiya cimriga adeegga iyo isku halaynta shaqada ee dayax-gacmeedka. Ka shaqaynta xaalado aad u daran - sida faakiyuum sare, wareegga kulaylka daran, shucaaca ultraviolet-ka daran, nabaad-guurka oksijiinta atomiga, iyo saameynta walxaha xawaaraha sare leh - walxaha caadiga ah ee badankoodu waxay inta badan ku dhibtoodaan inay dheellitiraan naqshadda fudud iyo isku halaynta muddada dheer. Tiknoolajiyada dahaarka faakiyuumka, oo ah xalka injineernimada dusha sare ee asaasiga ah, ayaa noqday furaha ugu muhiimsan ee casriyeynta agabka ee dayax-gacmeedka casriga ah.
1. Shuruudaha Dusha Sare ee Adag ee Codsiyada Hawada Sare
Inta lagu jiro hawlgalka wareegga, dusha sare ee dayax-gacmeedka ayaa si joogto ah loogu soo bandhigaa jawiyada hawada sare ee adag, taasoo ku soo rogaysa shuruudo waxqabad oo badan agabka, oo ay ku jiraan:
Xasillooni aad u fiican marka la eego wareegga kulaylka xad-dhaafka ah
Iska caabinta muddada dheer ee shucaaca ultraviolet iyo oksijiinta atomiga
Astaamaha gaaska oo hooseeya iyo iswaafajinta faakuumka oo sarreeya
Awood farsamo oo sare iyo iska caabin xirasho iyadoo la ilaalinayo qaab-dhismeedka fudud
Walax keliya oo substrate ah si dhif ah ayay u buuxin kartaa dhammaan shuruudahan isku mar. Marka la soo bandhigo filimaan khafiif ah oo shaqeynaya oo ku yaal dusha sare ee substrate-ka, horumarinta waxqabadka bartilmaameedka ah ayaa la gaari karaa iyada oo aan wax laga beddelin naqshadda dhismaha ee aasaasiga ah.
2. Faa'iidooyinka Muhiimka ah ee Tiknoolajiyada Dahaarka Faakuumka
Dahaarka faakuumka wuxuu ku shubaa walxaha birta, dhoobada, ama isku-dhafka ah dusha sare ee hawada sare ama jawiga la xakameeyey, isagoo samaynaya filimaan khafiif ah oo shaqeynaya oo leh dhumuc si sax ah loo xakameeyey, qaab-dhismeed yar oo cufan, iyo sifooyin la hagaajin karo. Faa'iidooyinkooda ugu muhiimsan ee codsiyada hawada sare waxaa ka mid ah:
Daxal-wanaagsan iyo qaab-dhismeedyo filim oo cufnaan sare leh
Deegaanka faakuumka ayaa yareeya wasakhowga, taasoo si weyn u hagaajinaysa cufnaanta filimka iyo xasilloonida.
Ku dheggan filim-substrate xoog leh
Hababka kaydinta jirka ama kiimikada waxay hubiyaan isku xirnaan adag, taasoo u oggolaanaysa dahaarka inuu u adkeysto xaaladaha adag ee adeegga.
Sifooyinka shaqada ee si sax ah loo farsameeyay
Iyada oo loo marayo naqshadaha dahaarka lakabka badan, kuwa la kala saaray, ama kuwa isku dhafan, sifooyinka indhaha, korontada, kulaylka, iyo farsamada si sax ah ayaa loo habeyn karaa.
3. Geeddi-socodka Dahaarka Wakiilka iyo Codsiyada Hawada Sare
Dhowr tignoolajiyad oo dahaarka faakuumka ah ayaa si ballaaran loogu isticmaalay wax soo saarka dayax-gacmeedka iyo ilaalinta qaybaha muhiimka ah:
PVD (Qaybinta Uumiga Jirka)
Waxaa badanaa loo isticmaalaa in lagu soo saaro dahaadh aan xirnayn, u adkaysta daxalka, iyo kuwa aan is jiidjiidnayn sida TiN, CrN, iyo DLC oo loogu talagalay qaybaha farsamada, boodhadhka, iyo isku-xidhka dhaqdhaqaaqa.
CVD (Ka-saarista Uumiga Kiimikada)
Ku habboon in la gaaro dahaadh aad u siman oo ku yaal joomatari isku dhafan, oo ay ku jiraan filimaan heerkul sare leh iyo kuwa ilaalinaya sida SiC, SiO₂, iyo Al₂O₃.
Dahaadhada Shaqada ee Indhaha
Dahaarka faragelinta lakabka badan ayaa loo adeegsadaa si loo sameeyo dusha sare ee xakamaynta kulaylka, filimada milicsiga, iyo dahaarka indhaha ee u adkaysta shucaaca ee dibadda hawada sare iyo nidaamyada indhaha.
4. Laga bilaabo Ilaalinta Agabka ilaa Horumarinta Waxqabadka Heerka Nidaamka
Qiimaha dahaarka faakuumka wuxuu ka baxsan yahay ilaalinta dusha sare, taasoo gacan ka geysaneysa waxqabadka guud ee nidaamka dayax-gacmeedka:
Cimri dheer oo adeeg ah oo ku socda wareegga
Hoos u dhaca walxaha iyo khasaaraha waxqabadka
Isku halaynta iyo xuduudaha badbaadada ee la hagaajiyay ee qaybaha muhiimka ah
Awood u siinta codsiga injineernimada ee substrate-yada fudud ee horumarsan
Maadaama hawlgallada hawada sare ay u soo baxaan muddo dheer iyo jawiyo aad u adag, teknoolojiyada dahaarka faakuumka ayaa ka gudbaya hababka kaabayaasha ah una gudbaya walxaha muhiimka ah ee naqshadeynta agabka dayax-gacmeedka.
5. Gunaanad
Iyadoo injineernimada hawada sare ay u sii socoto xilli sahaminta hawada sare iyo shuruudaha kalsoonida oo la kordhiyay, teknoolojiyada dahaarka faakuumka waxay bixiyaan waddo hufan, la xakameyn karo, iyo waara oo lagu casriyeynayo agabka hawada sare. Iyada oo la isku darayo sayniska agabka iyo injineernimada dusha sare ee horumarsan, teknoolojiyadaha dhuuban ee faakuumka ayaa bixinaya taageero waxqabad oo xooggan oo loogu talagalay dayax-gacmeedyada hawada sare ee ka shaqeeya deegaannada aadka u daran.
–Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumka saaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Diseembar-05-2025