Принципы выбора подложек и пленок

В процессе подготовки пленки подложку можно выбрать по следующей силовой поверхности:

1. В зависимости от целей применения выберите в качестве подложки золото или сплав, стекло, керамику и пластик;

2. Структура материала подложки соответствует структуре пленки;

3. Материал подложки соответствует характеристикам пленки, чтобы снизить термическое напряжение и предотвратить отслоение тонкой пленки:

Примите во внимание предложение на рынке, цену и сложность переработки.

Принципы отбора фильмов:

① Химическая совместимость подложек и пленочных материалов. Самая идеальная химическая совместимость означает, что в процессе изготовления пленки эксплуатационные характеристики интерфейса не ухудшаются, а фазы не вступают в вредные химические реакции на интерфейсе.

② физическая совместимость материалов подложки и пленки. Физическая совместимость в основном относится к согласованию материалов матрицы и пленки по коэффициенту теплового расширения, модулю упругости и коэффициенту решетки. Результат напрямую влияет на распределение остаточного напряжения внутри материала пленки, а затем на механические свойства пленки.

–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа