د ګوانګ دونګ ژنهوا ټیکنالوژۍ شرکت ته ښه راغلاست.
واحد_بینر

د څو خونو دوامداره ویکیوم کوټینګ سیسټمونو تخنیکي ننګونې

د مقالې سرچینه: د ژین هوا خلا
ولولئ: ۱۰
خپور شوی: ۲۶-۰۱-۱۹

۱. د ټیکنالوژۍ پس منظر: د واحد چیمبر بیچ پروسس کولو څخه تر دوامداره تولید پورې

د موټرو آپټیکس، ډیسپلی پینلونو، سمارټ کاکپیټ اجزاو، او فعال آرائشی فلمونو کې د تروپټ، ثبات، او کوټینګ ثبات لپاره د مخ په زیاتیدونکي غوښتنو سره، دودیز واحد چیمبر بیچ کوټینګ سیسټمونه خپلو محدودیتونو ته رسیدلي دي.

د څو خونو دوامداره کوټینګ سیسټمونه د بارولو، مخکې له درملنې، زیرمه کولو، محافظتي طبقې جوړښت، او بارولو ویش په ډیری فعالو خونو کې، چې د دوامداره لیږد میکانیزم لخوا وصل دي. پداسې حال کې چې دا جوړښت د لوړ حجم تولید فعالوي، دا د انجینرۍ او پروسې پیچلتیا د پام وړ زیاتوي.

۲. د چیمبرونو ترمنځ د ویکیوم جلا کول او د ککړتیا کنټرول

یو له لومړنیو تخنیکي ننګونو څخه د پروسې چیمبرونو ترمنځ د مؤثره خلا جلا کول دي.

مختلفې خونې اکثرا د مختلفو ګازي اتموسفیرونو لاندې فعالیت کوي

د هدف مواد او زیرمه کیمیاوې د ککړتیا په وړاندې خورا حساس دي

ناکافي انزوا کولی شي پایله ولري:

د غبرګوني ګازو بیرته جریان

د موادو متقابل جمع کول

د هدف مسمومیت او د فلم جوړښت بدلون

دا د باثباته پروسې حدود ساتلو لپاره د توپیر پمپ کولو، لیږد خونو، لوړ اعتبار لرونکي دروازې والونو، او غوره شوي سیل کولو ډیزاینونو ته اړتیا لري.

۳. د دوامداره لیږد پرمهال د خلا ثبات

د واحد-چیمبر سیسټمونو برعکس، د څو-چیمبر دوامداره پوښښ متحرک ویکیوم کنټرول ته اړتیا لري.

سبسټریټونه په دوامداره توګه د پروسې چیمبرونو ته ننوځي او وځي

د لیږد میکانیزمونه د ګازو اضافي بار او ذراتو خطرونه معرفي کوي

د دوامداره عملیاتو په جریان کې د ثابت اساس فشار، کنټرول شوي پروسې فشار، او د پلازما ټیټ بدلون ساتل د څو مرحلو پمپ کولو ترتیبونو، د چټک غبرګون فشار کنټرول الګوریتمونو، او د لیږد سرعت او پمپ کولو ظرفیت ترمنځ دقیق مطابقت پورې اړه لري.

 

په دوامداره سیسټمونو کې، پوښښونه د یوې پروسې مرحلې پرځای په څو چیمبرونو کې د مجموعي زیرمو له لارې جوړیږي.

مهمې ننګونې عبارت دي له:

د زیرمو کچه او د پلازما کثافت کې بدلونونه

د هدف د تخریب غیر همغږي حالتونه

د تودوخې او مقناطیسي ساحې نا متناسب ویشونه

دا عوامل په مستقیم ډول د ضخامت یووالي، د فلم فشار، او نظري فعالیت اغیزه کوي، د پروسې کړکۍ سخت کنټرول، په ساحه کې څارنه، او په ټولو چیمبرونو کې همغږي شوي پیرامیټر مدیریت ته اړتیا لري.

۵. د لیږد سیسټم دقت او اعتبار

د څو خونو سیسټمونه په اتوماتیک لیږد میکانیزمونو باندې خورا تکیه کوي لکه:

د ویکیوم روبوټونه

مقناطیسي لیویټیشن یا د زنځیر چلونکي لیږدونکي

د رولر یا پالټ پر بنسټ د ترانسپورت سیسټمونه

دا سیسټمونه باید د لوړ موقعیت دقت وساتي پداسې حال کې چې د لوړ خلا، پلازما افشا کولو، او زیرمه کولو شرایطو لاندې په باوري ډول کار کوي. هر ډول انحراف ممکن د ضخامت غیر یووالي، د سیوري اغیزو، یا د ذراتو نیمګړتیاو لامل شي.

۶. د کنټرول سیسټم پیچلتیا او د پروسې همغږي

د څو خونو دوامداره کوټینګ سیسټم په اصل کې یو څو پروسې، څو فزیک سره یوځای شوی کنټرول پلیټ فارم دی.

د کنټرول مهمې ننګونې عبارت دي له:

د چیمبرونو په اوږدو کې د پیرامیټرو ریښتیني وخت همغږي

د پروسې دورې او لیږد دورې ترمنځ همغږي کول

د غیر معمولي شرایطو لاندې د انټرلاک او خوندیتوب مدیریت

دا د کنټرول سیسټم ته اړتیا لري چې ماډلر جوړښت، د پروسې بصري مدیریت، او د اوږدمهاله باثباته ډله ایز تولید ملاتړ لپاره بشپړ معلومات تعقیب کړي.

۷. د پانګونې لګښت او د پروسې د اعتبار حد

د واحد-چیمبر سیسټمونو په پرتله، د څو-چیمبر دوامداره کوټینګ تجهیزات د پام وړ لوړ لري:

د پانګې اچونې پانګه اچونه

د پروسې پراختیا هڅې

د کمیسیون کولو او تایید پیچلتیا

له همدې امله، د سیسټم ډیزاین باید د پروسې بشپړتیا، د تولید غوښتنې، او راتلونکي پیمانه کولو کې په احتیاط سره توازن ولري ترڅو عملي او دوامداره پلي کول ډاډمن شي.

۸. پایله: د انجینرۍ وړتیا د دوامداره پوښښ ارزښت تعریفوي

د څو خونو دوامداره پوښښ یوازې د خونو شمیر کې زیاتوالی نه دی، بلکې د سیسټم انجینرۍ وړتیا یوه جامع مظاهره ده.
یوازې د ویکیوم انزوا، دوامداره لیږد، پروسې ثبات، او کنټرول جوړښت دقیق همغږۍ له لارې کولی شي د لوړ پای تولید کې د هغې ریښتینې ګټې ترلاسه شي.

- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ تجهیزاتجوړونکی ژنهوا ویکیوم


د پوسټ وخت: جنوري-۱۹-۲۰۲۶