Бүрхүүлийн шаардлага:
1. Хугарлын илтгэгчийг сайжруулахын тулд металл цацруулагч хальсаар бүрэх
2. PECVD хальсаар бүрэх нь ёроолын шүрших болон гадаргуугийн шүрших процессыг арилгаж чадна
Жэнхуа хөтөлбөрийн үнэт зүйлс:
-
Салбарын үйлдвэрлэгчид болон үйлчлүүлэгчдэд харгалзах бүрэх тоног төхөөрөмж болон гол бүрэх техникийн дэмжлэг үзүүлэх.
-
Салбарын тасралтгүй инноваци, өсөлтийн хэрэгцээнд үр ашигтай, өндөр чанартай, өртөг хэмнэлттэй шийдлүүдийг хангах.
