Вакуум бүрхүүлийн систем дэх соронзон шүүлтүүр гэдэг нь вакуум орчинд тунадасжуулах процессын явцад хүсээгүй бөөмс эсвэл бохирдуулагчийг шүүхийн тулд соронзон орон ашиглахыг хэлнэ. Эдгээр системийг ихэвчлэн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик, гадаргуугийн боловсруулалт зэрэг янз бүрийн үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд ашигладаг. Эдгээр элементүүд хэрхэн хамтран ажилладагийг энд харуулав.
Гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд:
Вакуум бүрхүүлийн системүүд:
Вакуум бүрхүүл нь вакуум дотор суурь дээр нимгэн материалын хальс түрхэх үйл явцыг хэлнэ. Энэ үйл явцад цацах, физик уурын тунадасжуулалт (PVD) болон химийн уурын тунадасжуулалт (CVD) зэрэг аргууд багтаж болно.
Вакуум орчин нь исэлдэлтээс сэргийлж, материалын хуримтлалыг нарийн хянах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр өндөр чанартай бүрхүүл бий болдог.
Соронзон шүүлтүүр:
Соронзон шүүлтүүр нь бүрэх материал эсвэл вакуум камернаас соронзон болон соронзон бус хэсгүүдийг арилгахад тусалдаг бөгөөд эцсийн бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.
Соронзон шүүлтүүрүүд нь тунадасжуулалтын явцад нимгэн хальсыг бохирдуулж болзошгүй төмрийн хэсгүүдийг (төмрөөр хийсэн) барихын тулд соронз ашигладаг.
Хэрэглээ:
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл: Цахиур эсвэл металл хальс зэрэг материалыг цэвэр тунадасжуулж, электрон эд ангиудын ажиллагааг сайжруулдаг.
Оптик бүрхүүл: Тодорхой байдал болон нарийвчлал чухал ач холбогдолтой линз, толь болон бусад оптик эд ангиудад ашигладаг.
Чимэглэлийн болон хамгаалалтын бүрхүүл: Автомашин гэх мэт салбарт вакуум бүрхүүлийн систем дэх соронзон шүүлтүүр нь жигд өнгөлгөө, бат бөх чанарыг хангадаг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 9-р сарын 28