Машината за вакуумско обложување на системот за пумпање ги има следниве основни барања:
(1) Вакуумскиот систем за обложување треба да има доволно голема брзина на пумпање, која не само што треба брзо да ги испумпува гасовите ослободени од подлогата и испарените материјали и компонентите во вакуумската комора за време на процесот на обложување, туку треба да биде способна и брзо да ги испумпува гасовите ослободени од процесот на распрскување и јонско обложување, како и истекувањето на гас од процесот на распрскување и јонско обложување и системот.
Истекувањето на гас за време на процесот на распрскување и јонско обложување може брзо да се извлече. За да се подобри продуктивноста на машината за обложување, таа треба да може да работи брзо.
(2) Крајниот вакуум на системот за пумпање на машината за обложување треба да биде различен во зависност од барањата на различните филмови. Табела 7-9 го покажува опсегот на степен на вакуум потребен за процесот на обложување на различни филмови.
(3) Во пумпата за дифузија на масло, како главен систем за пумпање, потребна е што е можно помала стапка на враќање на маслото, бидејќи пареата од повратното масло ќе ја загади површината на работното парче и ќе предизвика опаѓање на квалитетот на филмот. Во процесот на обложување, барањата за квалитет на филмот се особено високи, затоа е најдобро да се користи систем за пумпање без масло. Кога се користи систем за пумпање со дифузија на масло, треба да се постави адсорпциска стапица, ладна стапица и други компоненти на влезот на пумпата, и треба да се обрне внимание на спроводливоста на компонентите за да се обезбеди дека вакуумскиот систем ја одржува максималната брзина на пумпање.
(4) Стапката на истекување од комората за вакуумско обложување и нејзиниот систем за пумпање треба да биде мала, т.е. дури и ако станува збор за трага од истекување на гас, тоа ќе влијае на квалитетот на филмот. Затоа, за да се обезбеди запечатување на системот, вкупната стапка на истекување на системот мора да биде ограничена на дозволениот опсег.
(5) Работата, употребата и одржувањето на вакуумскиот систем треба да бидат практични, стабилни и сигурни.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 14 декември 2023 година