Magnētiskā filtrēšana vakuuma pārklāšanas sistēmās attiecas uz magnētisko lauku izmantošanu, lai filtrētu nevēlamas daļiņas vai piesārņotājus uzklāšanas procesa laikā vakuuma vidē. Šīs sistēmas bieži izmanto dažādos rūpnieciskos pielietojumos, piemēram, pusvadītāju ražošanā, optikā un virsmas apstrādē. Lūk, kā šie elementi darbojas kopā:
Galvenās sastāvdaļas:
Vakuuma pārklāšanas sistēmas:
Vakuuma pārklāšana ietver plānu materiālu kārtiņu uzklāšanu uz substrātiem vakuumā. Šis process var ietvert tādas metodes kā izsmidzināšana, fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD) un ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD).
Vakuuma vide novērš oksidēšanos un ļauj precīzi kontrolēt materiāla nogulsnēšanos, tādējādi iegūstot augstas kvalitātes pārklājumus.
Magnētiskā filtrēšana:
Magnētiskā filtrācija palīdz noņemt magnētiskās un nemagnētiskās daļiņas no pārklājuma materiāliem vai vakuuma kameras, uzlabojot gala produkta kvalitāti.
Magnētiskie filtri izmanto magnētus, lai notvertu dzelzs daļiņas (uz dzelzs bāzes), kas nogulsnēšanas laikā varētu piesārņot plāno plēvi.
Lietojumi:
Pusvadītāju rūpniecība: nodrošina tādu materiālu kā silīcija vai metāla plēvju tīru nogulsnēšanos, uzlabojot elektronisko komponentu funkcionalitāti.
Optiskie pārklājumi: Izmanto lēcām, spoguļiem un citiem optiskiem komponentiem, kur ir svarīga skaidrība un precizitāte.
Dekoratīvie un aizsargpārklājumi: tādās nozarēs kā autobūve magnētiskā filtrācija vakuuma pārklājumu sistēmās nodrošina gludu apdari un izturību.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 28. septembris