Тасманы даярдоо процессинде субстрат төмөнкү күч бетине ылайык тандалышы мүмкүн:
1. Ар кандай колдонуу максаттарына ылайык, субстрат катары Gold Show же Alloy, Glass, Ceramics and Plastic тандаңыз;
2. Субстрат материалынын структурасы пленканын структурасына туура келет;
3. Субстрат материалы жука пленка түшүп калбаш үчүн жылуулук стрессти азайтуу үчүн пленканын иштешине дал келет:
Рыноктук сунушту, бааны жана кайра иштетүүдөгү кыйынчылыкты эске алыңыз.
Тасманы тандоонун принциптери:
① Субстраттардын жана пленкалык материалдардын химиялык шайкештиги. Эң идеалдуу химиялык шайкештик пленканы даярдоодо интерфейстин иштеши бузулбасын жана фазаларда интерфейсте зыяндуу химиялык реакциялар болбошун билдирет.
② субстрат жана пленка материалдарынын физикалык шайкештиги. Физикалык шайкештик негизинен матрица менен пленка материалдарынын жылуулук кеңейүү коэффициентинде, ийкемдүү модулда жана торчо коэффициентинде дал келүүсүн билдирет. Натыйжада пленка материалынын ичиндеги калдык стресстин бөлүштүрүлүшүнө түздөн-түз таасир этет, андан кийин пленканын механикалык касиеттерине таасир этет.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 29-февраль 2024-ж