Вакуумдық жабын жүйелеріндегі магниттік сүзу вакуумдық ортада тұндыру процесі кезінде қажет емес бөлшектерді немесе ластаушы заттарды сүзу үшін магнит өрістерін пайдалануды білдіреді. Бұл жүйелер көбінесе жартылай өткізгіштерді өндіру, оптика және бетті өңдеу сияқты әртүрлі өнеркәсіптік қолданбаларда қолданылады. Міне, бұл элементтер қалай бірге жұмыс істейді:
Негізгі компоненттер:
Вакуумдық жабын жүйелері:
Вакуумдық жабын материалдардың жұқа қабықшаларын вакуумдағы субстраттарға салуды қамтиды. Бұл процесс тозаңдату, физикалық бу тұндыру (PVD) және химиялық бу тұндыру (CVD) сияқты әдістерді қамтуы мүмкін.
Вакуумдық орталар тотығудың алдын алады және материалдың тұнбасын дәл бақылауға мүмкіндік береді, бұл жоғары сапалы жабындарға әкеледі.
Магниттік фильтрация:
Магниттік фильтрация жабын материалдарынан немесе вакуумдық камерадан магнитті және магнитті емес бөлшектерді кетіруге көмектеседі, соңғы өнімнің сапасын арттырады.
Магниттік сүзгілер тұндыру кезінде жұқа пленканы ластауы мүмкін темір бөлшектерін (темір негізіндегі) ұстау үшін магниттерді пайдаланады.
Қолданбалар:
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі: кремний немесе металл қабықшалар сияқты материалдардың таза тұндыруын қамтамасыз етеді, электрондық компоненттердің функционалдығын жақсартады.
Оптикалық жабындар: айқындық пен дәлдік маңызды болып табылатын линзалар, айналар және басқа оптикалық компоненттер үшін қолданылады.
Сәндік және қорғаныш жабындары: автомобиль сияқты салаларда вакуумды жабын жүйелеріндегі магниттік сүзгілеу тегіс әрлеуді және ұзақ мерзімділікті қамтамасыз етеді.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 28 қыркүйек 2024 ж
