La macchina per rivestimento sotto vuoto sul sistema di pompaggio ha i seguenti requisiti di base:
(1) Il sistema di rivestimento sotto vuoto deve avere una portata di pompaggio sufficientemente elevata, che non solo espella rapidamente i gas rilasciati dal substrato e dai materiali evaporati e dai componenti nella camera a vuoto durante il processo di rivestimento, ma sia anche in grado di espella rapidamente i gas rilasciati dal processo di sputtering e rivestimento ionico, nonché le perdite di gas del processo di sputtering e rivestimento ionico e del sistema.
Anche le perdite di gas durante i processi di sputtering e di rivestimento ionico possono essere rapidamente eliminate. Per migliorare la produttività della macchina di rivestimento, è fondamentale che sia in grado di operare rapidamente.
(2) Il vuoto limite del sistema di pompaggio della macchina di rivestimento deve variare a seconda dei requisiti dei diversi film. La Tabella 7-9 mostra l'intervallo di vuoto richiesto dal processo di rivestimento per diversi film.
(3) Nel caso di una pompa a diffusione d'olio come pompa principale, il sistema di pompaggio richiede che la portata di ritorno dell'olio sia la più bassa possibile, poiché il vapore d'olio di ritorno inquinerebbe la superficie del pezzo e causerebbe una riduzione della qualità del film. Nei processi di rivestimento, dove i requisiti di qualità del film sono particolarmente elevati, è preferibile utilizzare un sistema di pompaggio oil-free. Quando si utilizza un sistema di pompaggio con pompa a diffusione d'olio, è necessario installare una trappola di adsorbimento, una trappola fredda e altri componenti all'ingresso della pompa, prestando attenzione alla conduttività dei componenti per garantire che il sistema del vuoto mantenga la massima velocità di pompaggio.
(4) Il tasso di perdita della camera di rivestimento sotto vuoto e del suo sistema di pompaggio deve essere ridotto, ovvero, anche se si tratta di una perdita di gas traccia, influirà sulla qualità del film. Pertanto, al fine di garantire le prestazioni di tenuta del sistema, il tasso di perdita totale del sistema deve essere limitato all'intervallo consentito.
(5) Il funzionamento, l'uso e la manutenzione del sistema del vuoto devono essere convenienti, stabili e affidabili.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sotto vuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 14-12-2023