Ihe mkpuchi chọrọ:
1. A na-eji teknụzụ PECVD eme ihe maka mkpuchi ihe mkpuchi, nke bụ mgbochi oxidation, iguzogide okpomọkụ dị elu na iguzogide nchara.
2. ahaziri dịka ihe ndị ahịa chọrọ si dị
Ụkpụrụ Mmemme Zhenhua:
-
Nye akụrụngwa mkpuchi kwekọrọ na nkwado teknụzụ mkpuchi isi maka ndị nrụpụta na ndị ahịa ụlọ ọrụ.
-
Nye ngwọta dị irè, dị elu, na nke dị ọnụ ala maka mkpa mmepụta ihe na uto na-aga n'ihu nke ụlọ ọrụ ahụ.
