A máquina de revestimento ao baleiro no sistema de bombeo ten os seguintes requisitos básicos:
(1) O sistema de baleiro de revestimento debe ter unha taxa de bombeo suficientemente grande, que non só debe bombear rapidamente os gases liberados do substrato e os materiais evaporados e os compoñentes na cámara de baleiro durante o proceso de revestimento, senón que tamén debe ser capaz de bombear rapidamente os gases liberados do proceso de pulverización catódica e revestimento iónico, así como as fugas de gas do proceso de pulverización catódica e revestimento iónico e do sistema.
A fuga de gas durante o proceso de pulverización catódica e revestimento iónico tamén se pode extraer rapidamente. Para mellorar a produtividade da máquina de revestimento, esta debe ser capaz de funcionar con rapidez.
(2) O baleiro máximo do sistema de bombeo da máquina de revestimento debe ser diferente segundo os requisitos das diferentes películas. A táboa 7-9 mostra o rango de grao de baleiro requirido polo proceso de revestimento de diferentes películas.
(3) Na bomba de difusión de aceite como sistema de bombeo da bomba principal, é necesario que a taxa de retorno do aceite da bomba sexa o máis pequena posible, porque o vapor de aceite de retorno contaminará a superficie da peza e fará que a calidade da película diminúa. Dado que os requisitos de calidade da película son especialmente altos no proceso de revestimento, é mellor usar o sistema de bombeo sen aceite. Ao usar o sistema de bombeo da bomba de difusión de aceite, débese configurar na entrada da bomba unha trampa de adsorción, unha trampa de frío e outros compoñentes, e débese prestar atención á condutividade dos compoñentes para garantir que o sistema de baleiro manteña a velocidade máxima de bombeo.
(4) A taxa de fuga da cámara de revestimento ao baleiro e o seu sistema de bombeo deben ser pequenas, é dicir, mesmo se se trata dunha fuga de gas residual, afectará á calidade da película. Polo tanto, para garantir o rendemento de selado do sistema, a taxa de fuga total do sistema debe limitarse ao rango admisible.
(5) O funcionamento, o uso e o mantemento do sistema de baleiro deben ser cómodos, estables e de rendemento fiable.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 14 de decembro de 2023