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Systèmes de revêtement sous vide par filtration magnétique

Source de l'article : Zhenhua Vacuum
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Publié le 24-09-28

La filtration magnétique dans les systèmes de revêtement sous vide fait référence à l'utilisation de champs magnétiques pour filtrer les particules ou contaminants indésirables pendant le processus de dépôt sous vide. Ces systèmes sont souvent utilisés dans diverses applications industrielles comme la fabrication de semi-conducteurs, l'optique et les traitements de surface. Voici comment ces éléments fonctionnent ensemble :

Composants clés :
Systèmes de revêtement sous vide :
Le revêtement sous vide consiste à déposer de fines couches de matériaux sur des substrats sous vide. Ce procédé peut inclure des techniques telles que la pulvérisation cathodique, le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Les environnements sous vide empêchent l'oxydation et permettent un contrôle précis du dépôt de matériau, ce qui conduit à des revêtements de haute qualité.
Filtration magnétique :
La filtration magnétique permet d’éliminer les particules magnétiques et non magnétiques des matériaux de revêtement ou de la chambre à vide, améliorant ainsi la qualité du produit final.
Les filtres magnétiques utilisent des aimants pour piéger les particules ferreuses (à base de fer) qui pourraient contaminer le film mince lors du dépôt.
Applications :
Industrie des semi-conducteurs : assure un dépôt propre de matériaux tels que des films de silicium ou de métal, améliorant ainsi la fonctionnalité des composants électroniques.
Revêtements optiques : utilisés pour les lentilles, les miroirs et autres composants optiques où la clarté et la précision sont cruciales.
Revêtements décoratifs et protecteurs : Dans des industries comme l'automobile, la filtration magnétique dans les systèmes de revêtement sous vide garantit des finitions lisses et une durabilité.

–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua


Date de publication : 28 septembre 2024