Substraatide ja kile valiku põhimõtted

Kile ettevalmistamise käigus saab aluspinna valida vastavalt järgmisele jõupinnale:

1. Valige alusmaterjalina vastavalt erinevatele rakenduseesmärkidele kuldplaat või sulam, klaas, keraamika ja plastik;

2. Alusmaterjali struktuur vastab kile struktuurile;

3. Alusmaterjal sobib kile omadustega, et vähendada termilist pinget ja vältida õhukese kile mahakukkumist:

Arvestage turu pakkumisega, hinnaga ja töötlemise raskustega.

Filmivaliku põhimõtted:

1. Substraatide ja kilematerjalide keemiline ühilduvus. Ideaalseim keemiline ühilduvus tähendab, et kile valmistamise ajal ei halvene liidese toimivus ja faaside vahel ei toimu liidesel kahjulikke keemilisi reaktsioone.

② alusmaterjali ja kilematerjali füüsikaline ühilduvus. Füüsikaline ühilduvus viitab peamiselt maatriksi ja kilematerjali sobivusele soojuspaisumisteguri, elastsusmooduli ja võrekoefitsiendi osas. Tulemus mõjutab otseselt jääkpingete jaotust kilematerjalis ja seejärel kile mehaanilisi omadusi.

– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua