Eine Vakuumbeschichtungsanlage mit Pumpsystem muss folgende Grundvoraussetzungen erfüllen:
(1) Das Beschichtungsvakuumsystem sollte über eine ausreichend große Pumprate verfügen, die nicht nur die während des Beschichtungsprozesses aus dem Substrat und den verdampften Materialien und den Komponenten in der Vakuumkammer freigesetzten Gase schnell abpumpen kann, sondern auch die beim Sputter- und Ionenbeschichtungsprozess freigesetzten Gase sowie die aus dem Sputter- und Ionenbeschichtungsprozess und dem System austretenden Gase schnell abpumpen kann.
Auch das beim Sputtern und Ionenbeschichtungsprozess austretende Gas kann schnell abgesaugt werden. Um die Produktivität der Beschichtungsmaschine zu verbessern, sollte diese schnell arbeiten können.
(2) Das Endvakuum des Pumpsystems der Beschichtungsmaschine sollte je nach den Anforderungen der verschiedenen Filme unterschiedlich sein. Tabelle 7-9 zeigt den für den Beschichtungsprozess verschiedener Filme erforderlichen Vakuumbereich.
(3) Bei der Öldiffusionspumpe als Hauptpumpe ist eine möglichst geringe Ölrücklaufrate erforderlich, da der zurückfließende Öldampf die Oberfläche des Werkstücks verunreinigt und die Qualität des Films beeinträchtigt. Bei besonders hohen Anforderungen an die Filmqualität im Beschichtungsprozess empfiehlt sich ein ölfreies Pumpsystem. Bei der Verwendung einer Öldiffusionspumpe sollten am Pumpeneinlass Adsorptionsfallen, Kühlfallen und andere Komponenten installiert werden. Die Leitfähigkeit der Komponenten sollte beachtet werden, um sicherzustellen, dass das Vakuumsystem die maximale Pumpleistung aufrechterhält.
(4) Die Leckrate der Vakuumbeschichtungskammer und ihres Pumpsystems sollte gering sein, d. h. selbst ein Spurengasleck beeinträchtigt die Qualität des Films. Um die Dichtleistung des Systems zu gewährleisten, muss daher die Gesamtleckrate des Systems auf den zulässigen Bereich begrenzt werden.
(5) Betrieb, Nutzung und Wartung des Vakuumsystems sollten bequem, stabil und zuverlässig sein.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungszeit: 14. Dezember 2023