Awọn ibeere ti ẹrọ fifọ igbale ti Eto fifa

Ẹrọ ti a bo igbale lori eto fifa ni awọn ibeere ipilẹ wọnyi:

(1) Eto igbale ti a bo yẹ ki o ni iwọn fifa ti o tobi to, eyiti ko yẹ ki o yara fa soke awọn gaasi ti a tu silẹ lati sobusitireti ati awọn ohun elo ti o yọ kuro ati awọn paati ti o wa ninu iyẹwu igbale lakoko ilana ti a bo, ṣugbọn tun ni anfani lati fa fifa soke ni iyara awọn gaasi ti a tu silẹ lati sputtering ati ilana ibora ion, ati jijo gaasi ti ilana ibora ati eto ion.

Jijo gaasi lakoko sputtering ati ilana ibora ion tun le yọ jade ni iyara. Lati le mu iṣẹ-ṣiṣe ti ẹrọ ti a bo, o yẹ ki o ni anfani lati ṣiṣẹ ni kiakia.

(2) Igbale ti o ga julọ ti eto fifa ẹrọ ti a bo yẹ ki o yatọ ni ibamu si awọn ibeere ti awọn oriṣiriṣi fiimu. Tabili 7-9 jẹ iwọn iwọn igbale ti o nilo nipasẹ ilana ibora ti awọn fiimu oriṣiriṣi.

(3) Ninu fifa fifa epo bi eto fifa fifa akọkọ nilo oṣuwọn ipadabọ epo fifa jẹ kekere bi o ti ṣee ṣe, nitori pe epo epo ti o pada yoo bajẹ oju ti iṣẹ-ṣiṣe ati ki o fa ki didara fiimu naa kọ silẹ. Ninu awọn ibeere didara fiimu jẹ paapaa ga julọ ni ilana ti a bo, o dara julọ lati lo eto fifa epo-ọfẹ. Nigbati o ba nlo eto fifa fifa fifa epo, o yẹ ki o ṣeto sinu idẹkùn adsorption inlet inlet, pakute tutu ati awọn irinše miiran, ati pe o yẹ ki o san ifojusi si ifarakanra ti awọn irinše lati rii daju pe eto igbale lati ṣetọju iyara fifa ti o pọju.

(4) Oṣuwọn jijo ti iyẹwu ti a bo igbale ati eto fifa rẹ yẹ ki o jẹ kekere, ie, paapaa ti o ba jẹ jijo gaasi itọpa, yoo ni ipa lori didara fiimu naa. Nitorinaa, lati rii daju iṣẹ lilẹ ti eto naa, oṣuwọn jijo lapapọ ti eto gbọdọ wa ni opin si iwọn iyọọda.

(5) Ṣiṣẹ eto igbale, lilo ati itọju yẹ ki o rọrun, iduroṣinṣin ati iṣẹ igbẹkẹle.

-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua