Awọn ẹrọ ifisilẹ Sputter, ti a tun mọ si awọn eto sputtering, jẹ ohun elo amọja ti o ga julọ ti a lo ninu ilana fifisilẹ fiimu tinrin. O ṣiṣẹ lori ilana ti sputtering, eyiti o kan bombard ohun elo ibi-afẹde kan pẹlu awọn ions tabi awọn ọta ti o ni agbara giga. Ilana naa n jade ṣiṣan ti awọn ọta lati ohun elo ibi-afẹde kan, eyiti a fi silẹ lẹhinna sori sobusitireti lati ṣe fiimu tinrin.
Lilo awọn ẹrọ ifisilẹ sputter ti pọ si pupọ nitori agbara wọn lati gbejade awọn fiimu ti mimọ giga, iṣọkan ti o dara julọ ati sisanra iṣakoso. Iru fiimu ni awọn ohun elo jakejado ni microelectronics, optics, awọn sẹẹli oorun, media ipamọ oofa ati awọn aaye miiran.
Awọn idagbasoke aipẹ ni aaye ti awọn ẹrọ ifisilẹ sputter ti yorisi imudara iṣẹ ṣiṣe ati awọn abuda ilọsiwaju. Ilọsiwaju ti o ṣe akiyesi ni isọdọkan ti imọ-ẹrọ sputtering magnetron, eyiti o fun laaye fun awọn oṣuwọn ifisilẹ ti o ga ati ilọsiwaju didara fiimu. Ilọtuntun yii ngbanilaaye ifisilẹ ti awọn oriṣiriṣi awọn ohun elo, pẹlu awọn irin, awọn oxides irin ati awọn semikondokito.
Ni afikun, awọn ẹrọ ifisilẹ sputter ti wa ni ipese pẹlu awọn eto iṣakoso ilọsiwaju ti o rii daju iṣakoso kongẹ ti awọn aye ifisilẹ bii titẹ gaasi, iwuwo agbara, akopọ ibi-afẹde ati iwọn otutu sobusitireti. Awọn ilọsiwaju wọnyi ṣe ilọsiwaju iṣẹ fiimu ati mu iṣelọpọ awọn fiimu ṣiṣẹ pẹlu awọn ohun-ini ti a ṣe si awọn ohun elo kan pato.
Ni afikun, idagbasoke ilọsiwaju ni aaye ti nanotechnology tun ni anfani pupọ lati awọn ẹrọ ifisilẹ sputter. Awọn oniwadi nlo awọn ẹrọ wọnyi lati ṣẹda awọn ẹwẹ-ẹda ati awọn aṣọ-iṣọ nanostructured pẹlu pipe ti o ga julọ. Awọn ẹrọ ifisilẹ Sputter ni agbara lati gbe awọn fiimu tinrin sori awọn apẹrẹ eka ati awọn agbegbe nla, ṣiṣe wọn jẹ apẹrẹ fun ọpọlọpọ awọn ohun elo nanoscale.
Laipẹ ni a royin pe ẹgbẹ awọn onimọ-jinlẹ lati ile-iṣẹ iwadii olokiki kan ti ṣaṣeyọri ni idagbasoke ẹrọ ifisilẹ sputter tuntun kan ti o le fi awọn fiimu tinrin pamọ pẹlu konge airotẹlẹ. Ẹrọ gige-eti yii ṣepọ awọn algoridimu iṣakoso-ti-aworan ati apẹrẹ magnetron aramada lati ṣaṣeyọri iṣọkan fiimu ti o ga julọ ati iṣakoso sisanra. Ẹgbẹ iwadi naa ṣe akiyesi ẹrọ rẹ yoo ṣe iyipada ilana iṣelọpọ ti awọn ẹrọ itanna iran atẹle ati awọn eto ipamọ agbara.
Idagbasoke awọn ohun elo titun pẹlu iṣẹ ṣiṣe ti o ni ilọsiwaju jẹ ifojusi ailopin ti agbegbe ijinle sayensi. Awọn ẹrọ ifisilẹ Sputter ti di ohun elo ti ko ṣe pataki ni iṣawari yii, ni irọrun wiwa ati iṣelọpọ ti awọn ohun elo tuntun pẹlu awọn ohun-ini alailẹgbẹ. Awọn oniwadi nlo awọn ẹrọ wọnyi lati ṣe iwadi awọn ọna idagbasoke fiimu, awọn ohun elo iwadi pẹlu awọn ohun-ini ti a ṣe, ati ṣawari awọn ohun elo titun ti o le ṣe apẹrẹ ọjọ iwaju ti imọ-ẹrọ.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-30-2023